Aviso de fornecimento estável a longo prazo de SiC de 8 polegadas

Atualmente, nossa empresa pode continuar fornecendo pequenos lotes de wafers de SiC tipo N de 8 polegadas. Caso necessite de amostras, entre em contato conosco. Temos alguns wafers de amostra prontos para envio.

Aviso de fornecimento estável a longo prazo de SiC de 8 polegadas
Aviso de fornecimento estável a longo prazo de SiC de 8 polegadas1

No campo dos materiais semicondutores, a empresa alcançou um grande avanço na pesquisa e desenvolvimento de cristais de SiC de grandes dimensões. Utilizando seus próprios cristais-semente após múltiplas rodadas de aumento de diâmetro, a empresa conseguiu cultivar cristais de SiC tipo N de 8 polegadas, solucionando problemas complexos como a distribuição irregular de temperatura, o trincamento dos cristais e a distribuição da matéria-prima na fase gasosa durante o processo de crescimento desses cristais. Além disso, a empresa acelera o crescimento de cristais de SiC de grandes dimensões e desenvolve uma tecnologia de processamento autônoma e controlável, o que aumenta significativamente sua competitividade na indústria de substratos monocristalinos de SiC. Simultaneamente, a empresa promove ativamente o acúmulo de tecnologia e processos na linha experimental de preparação de substratos de carbeto de silício de grandes dimensões, fortalece o intercâmbio técnico e a colaboração industrial nos setores a montante e a jusante, e trabalha em conjunto com os clientes para aprimorar continuamente o desempenho dos produtos, impulsionando a aplicação industrial de materiais de carbeto de silício.

Especificações do DSP SiC tipo N de 8 polegadas

Número Item Unidade Produção Pesquisar Fictício
1. Parâmetros
1.1 politipo -- 4H 4H 4H
1.2 orientação da superfície ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Parâmetro elétrico
2.1 dopante -- Nitrogênio tipo n Nitrogênio tipo n Nitrogênio tipo n
2.2 resistividade ohm ·cm 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3. Parâmetro mecânico
3.1 diâmetro mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 grossura μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Orientação do entalhe ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Profundidade do entalhe mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3,5 LTV μm ≤5 (10 mm * 10 mm) ≤5 (10 mm * 10 mm) ≤10 (10 mm * 10 mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Arco μm -25~25 -45~45 -65~65
3,8 Urdidura μm ≤30 ≤50 ≤70
3,9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Estrutura
4.1 densidade de microtubos cada/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 teor de metal átomos/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD cada/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 Transtorno de Personalidade Borderline cada/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4,5 TED cada/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Qualidade positiva
5.1 frente -- Si Si Si
5.2 acabamento de superfície -- CMP de face Si CMP de face Si CMP de face Si
5.3 partícula cada/wafer ≤100 (tamanho ≥ 0,3 μm) NA NA
5.4 arranhar cada/wafer ≤5, Comprimento total ≤200 mm NA NA
5,5 Borda
lascas/arranhões/rachaduras/manchas/contaminação
-- Nenhum Nenhum NA
5.6 Áreas de politipos -- Nenhum Área ≤10% Área ≤30%
5.7 marcação frontal -- Nenhum Nenhum Nenhum
6. Qualidade das costas
6.1 acabamento traseiro -- MP de face C MP de face C MP de face C
6.2 arranhar mm NA NA NA
6.3 Defeitos na borda traseira
lascas/recortes
-- Nenhum Nenhum NA
6.4 aspereza nas costas nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6,5 Marcação traseira -- Entalhe Entalhe Entalhe
7. Borda
7.1 borda -- Chanfro Chanfro Chanfro
8. Pacote
8.1 embalagem -- Pronto para epidural com vácuo
embalagem
Pronto para epidural com vácuo
embalagem
Pronto para epidural com vácuo
embalagem
8.2 embalagem -- Multi-wafer
embalagem de cassete
Multi-wafer
embalagem de cassete
Multi-wafer
embalagem de cassete

Data da publicação: 18/04/2023