Wafer de safira de 12 polegadas para fabricação de semicondutores em alto volume.

Descrição resumida:

O wafer de safira de 12 polegadas foi projetado para atender à crescente demanda por fabricação de semicondutores e optoeletrônicos em larga escala e com alto rendimento. À medida que as arquiteturas de dispositivos continuam a ser miniaturizadas e as linhas de produção migram para formatos de wafer maiores, os substratos de safira com diâmetros ultragrandes oferecem vantagens claras em termos de produtividade, otimização de rendimento e controle de custos.

Envie-nos um e-mail

Características

Diagrama detalhado

Introdução do wafer de safira de 12 polegadas

Fabricados a partir de Al₂O₃ monocristalino de alta pureza, nossos wafers de safira de 12 polegadas combinam excelente resistência mecânica, estabilidade térmica e qualidade de superfície. Através do crescimento otimizado de cristais e do processamento preciso dos wafers, esses substratos oferecem desempenho confiável para aplicações avançadas de LED, GaN e semicondutores especiais.

Características do Material

A safira (óxido de alumínio monocristalino, Al₂O₃) é bem conhecida por suas excelentes propriedades físicas e químicas. Os wafers de safira de 12 polegadas herdam todas as vantagens do material, oferecendo ao mesmo tempo uma área de superfície útil muito maior.

As principais características do material incluem:

Dureza e resistência ao desgaste extremamente elevadas
Excelente estabilidade térmica e alto ponto de fusão.
Resistência química superior a ácidos e álcalis
Alta transparência óptica em comprimentos de onda desde o ultravioleta até o infravermelho.
Excelentes propriedades de isolamento elétrico

Essas características tornam os wafers de safira de 12 polegadas adequados para ambientes de processamento severos e processos de fabricação de semicondutores em altas temperaturas.

Processo de fabricação

A produção de wafers de safira de 12 polegadas requer tecnologias avançadas de crescimento de cristais e processamento de ultraprecisão. O processo de fabricação típico inclui:

Crescimento de monocristal
Cristais de safira de alta pureza são cultivados utilizando métodos avançados, como KY ou outras tecnologias de crescimento de cristais de grande diâmetro, garantindo orientação cristalina uniforme e baixa tensão interna.
Moldagem e corte de cristais
O lingote de safira é moldado com precisão e cortado em lâminas de 12 polegadas usando equipamentos de corte de alta precisão para minimizar danos na subsuperfície.
Lapidação e polimento
São aplicados processos de lapidação em várias etapas e polimento químico-mecânico (CMP) para obter excelente rugosidade superficial, planicidade e uniformidade de espessura.
Limpeza e Inspeção
Cada wafer de safira de 12 polegadas passa por uma limpeza completa e inspeção rigorosa, incluindo análise da qualidade da superfície, TTV (variação total de temperatura), curvatura, empenamento e defeitos.

Aplicações

Os wafers de safira de 12 polegadas são amplamente utilizados em tecnologias avançadas e emergentes, incluindo:

Substratos de LED de alta potência e alto brilho
Dispositivos de potência e dispositivos de RF baseados em GaN
Substratos isolantes e de suporte para equipamentos semicondutores
Janelas ópticas e componentes ópticos de grande área
Embalagem avançada de semicondutores e suportes de processo especiais

O grande diâmetro permite maior produtividade e melhor custo-benefício na produção em massa.

Vantagens dos wafers de safira de 12 polegadas

Maior área útil para maior produção de dispositivos por wafer.
Melhoria na consistência e uniformidade do processo.
Redução do custo por dispositivo na produção em larga escala.
Excelente resistência mecânica para manuseio de grandes dimensões.
Especificações personalizáveis para diferentes aplicações

Opções de personalização

Oferecemos personalização flexível para wafers de safira de 12 polegadas, incluindo:

Orientação cristalina (plano C, plano A, plano R, etc.)
Tolerância de espessura e diâmetro
Polimento de um ou dois lados
Design de perfil de borda e chanfro
Requisitos de rugosidade e planicidade da superfície

Parâmetro	Especificação	Notas
Diâmetro do wafer	12 polegadas (300 mm)	Wafer padrão de grande diâmetro
Material	Safira monocristalina (Al₂O₃)	Alta pureza, grau eletrônico/óptico
Orientação cristalina	Plano C (0001), Plano A (11-20), Plano R (1-102)	Orientações opcionais disponíveis
Grossura	430–500 μm	Espessuras personalizadas disponíveis mediante solicitação.
Tolerância de espessura	±10 μm	Tolerância rigorosa para dispositivos avançados
Variação Total da Espessura (TTV)	≤10 μm	Garante o processamento uniforme em toda a pastilha.
Arco	≤50 μm	Medido em toda a superfície do wafer.
Urdidura	≤50 μm	Medido em toda a superfície do wafer.
Acabamento da superfície	Polido em um lado (SSP) / Polido em ambos os lados (DSP)	Superfície de alta qualidade óptica
Rugosidade da superfície (Ra)	≤0,5 nm (polido)	Suavidade em nível atômico para crescimento epitaxial
Perfil de borda	Chanfro / Borda arredondada	Para evitar lascas durante o manuseio.
Precisão de orientação	±0,5°	Garante o crescimento adequado da camada epitaxial.
Densidade de defeitos	<10 cm⁻²	Medido por inspeção óptica
Planicidade	≤2 μm / 100 mm	Garante litografia uniforme e crescimento epitaxial.
Limpeza	Classe 100 – Classe 1000	Compatível com salas limpas
Transmissão Óptica	>85% (UV-IR)	Depende do comprimento de onda e da espessura.

Perguntas frequentes sobre wafers de safira de 12 polegadas

P1: Qual é a espessura padrão de uma pastilha de safira de 12 polegadas?
A: A espessura padrão varia de 430 μm a 500 μm. Espessuras personalizadas também podem ser produzidas de acordo com as necessidades do cliente.

Q2: Quais orientações cristalinas estão disponíveis para wafers de safira de 12 polegadas?
A: Oferecemos orientações de plano C (0001), plano A (11-20) e plano R (1-102). Outras orientações podem ser personalizadas com base nos requisitos específicos do dispositivo.

Q3: Qual é a variação total da espessura (TTV) do wafer?
A: Nossos wafers de safira de 12 polegadas normalmente apresentam um TTV ≤ 10 μm, garantindo uniformidade em toda a superfície do wafer para a fabricação de dispositivos de alta qualidade.

Sobre nós

A XKH é especializada no desenvolvimento, produção e venda de alta tecnologia de vidros ópticos especiais e novos materiais cristalinos. Nossos produtos atendem aos setores de eletrônica óptica, eletrônicos de consumo e militar. Oferecemos componentes ópticos de safira, lentes para celulares, cerâmica, LT (tecido de baixa temperatura), carbeto de silício (SiC), quartzo e wafers de cristal semicondutor. Com expertise qualificada e equipamentos de ponta, nos destacamos no processamento de produtos não padronizados, com o objetivo de nos tornarmos uma empresa líder em alta tecnologia de materiais optoeletrônicos.