Wafer de safira de 156 mm e 159 mm de 6 polegadas para transportadora C-Plane DSP TTV
Especificação
| Item | Wafers de safira de 6 polegadas C-plane (0001) | |
| Materiais de Cristal | 99,999%, alta pureza, Al2O3 monocristalino | |
| Nota | Prime, pronto para Epi | |
| Orientação da superfície | Plano C (0001) | |
| Plano C fora do ângulo em direção ao eixo M 0,2 +/- 0,1° | ||
| Diâmetro | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Grossura | 650 μm +/- 25 μm | |
| Orientação plana primária | Plano C (00-01) +/- 0,2° | |
| Polido de um lado | Superfície Frontal | Epi-polido, Ra < 0,2 nm (por AFM) |
| (SSP) | Superfície posterior | Moagem fina, Ra = 0,8 μm a 1,2 μm |
| Polido com dupla face | Superfície Frontal | Epi-polido, Ra < 0,2 nm (por AFM) |
| (DSP) | Superfície posterior | Epi-polido, Ra < 0,2 nm (por AFM) |
| TTV | < 20 μm | |
| ARCO | < 20 μm | |
| URDIDURA | < 20 μm | |
| Limpeza / Embalagem | Limpeza de salas limpas classe 100 e embalagem a vácuo, | |
| 25 peças em uma embalagem cassete ou embalagem de peça única. | ||
O método Kylopoulos (método KY) é atualmente usado por muitas empresas na China para produzir cristais de safira para uso nas indústrias eletrônica e óptica.
Neste processo, o óxido de alumínio de alta pureza é fundido em um cadinho a temperaturas acima de 2100 graus Celsius. Normalmente, o cadinho é feito de tungstênio ou molibdênio. Um cristal semente precisamente orientado é imerso na alumina fundida. O cristal semente é lentamente puxado para cima e pode ser girado simultaneamente. Controlando precisamente o gradiente de temperatura, a taxa de extração e a taxa de resfriamento, um grande lingote monocristalino, quase cilíndrico, pode ser produzido a partir da fusão.
Depois que os lingotes de safira monocristal são cultivados, eles são perfurados em hastes cilíndricas, que são então cortadas na espessura de janela desejada e finalmente polidas para o acabamento de superfície desejado.
Diagrama Detalhado
