Wafer de safira de 156 mm e 159 mm (6 polegadas) para DSP TTV de plano C de suporte

Descrição resumida:

Wafer de safira de Al2O3 de 6 polegadas (156 mm/159 mm) com polimento em ambos os lados (DSP) e TTV inferior a 3 mícrons para placas de suporte. Wafer adicional de 8, 6, 5, 2, 3, 4 e 5 polegadas nos eixos C, A, R e M. Wafer de safira no plano C com até 6 polegadas (6 polegadas/6 polegadas) de diâmetro, com superfícies polidas em um lado (SSP) ou em ambos os lados (DSP) e com espessuras de 650 mícrons ou 1000 mícrons.

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Características

Especificação

Item	Wafer de safira de 6 polegadas com plano C (0001)
Materiais cristalinos	Al2O3 monocristalino de alta pureza (99,999%).
Nota	Prime, pronto para Epi
Orientação da superfície	Plano C(0001)
	Ângulo de inclinação do plano C em relação ao eixo M: 0,2 +/- 0,1°
Diâmetro	100,0 mm +/- 0,1 mm
Grossura	650 μm +/- 25 μm
Orientação plana primária	Plano C (00-01) +/- 0,2°
Polido em um lado	Superfície frontal	Polido epitaxialmente, Ra < 0,2 nm (por AFM)
(SSP)	Superfície posterior	Moagem fina, Ra = 0,8 μm a 1,2 μm
Polido em ambos os lados	Superfície frontal	Polido epitaxialmente, Ra < 0,2 nm (por AFM)
(DSP)	Superfície posterior	Polido epitaxialmente, Ra < 0,2 nm (por AFM)
TTV	< 20 μm
ARCO	< 20 μm
URDIDURA	< 20 μm
Limpeza/Embalagem	Limpeza de salas limpas classe 100 e embalagem a vácuo.
	25 unidades em uma embalagem tipo cassete ou embalagem individual.

O método Kylopoulos (método KY) é atualmente utilizado por muitas empresas na China para produzir cristais de safira para uso nas indústrias eletrônica e óptica.

Nesse processo, óxido de alumínio de alta pureza é fundido em um cadinho a temperaturas acima de 2100 graus Celsius. Normalmente, o cadinho é feito de tungstênio ou molibdênio. Um cristal semente precisamente orientado é imerso na alumina fundida. O cristal semente é lentamente puxado para cima e pode ser girado simultaneamente. Controlando-se com precisão o gradiente de temperatura, a velocidade de puxada e a taxa de resfriamento, um grande lingote monocristalino, quase cilíndrico, pode ser produzido a partir da fusão.

Após o crescimento dos lingotes de safira monocristalina, eles são perfurados até se transformarem em hastes cilíndricas, que são então cortadas na espessura desejada para a janela e, finalmente, polidas até obter o acabamento superficial desejado.