156mm 159mm Wafer de safira de 6 polegadas para transportadoraC-Plane DSP TTV
Especificação
Item | Plano C de 6 polegadas (0001) Wafers de safira | |
Materiais Cristalinos | 99.999%, Al2O3 monocristalino de alta pureza | |
Nota | Prime, Epi-Ready | |
Orientação de superfície | Plano C (0001) | |
Plano C fora do ângulo em direção ao eixo M 0,2 +/- 0,1° | ||
Diâmetro | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Grossura | 650 μm +/- 25 μm | |
Orientação Plana Primária | Plano C (00-01) +/- 0,2° | |
Único lado polido | Superfície frontal | Epi-polido, Ra <0,2 nm (por AFM) |
(SSP) | Superfície traseira | Moído fino, Ra = 0,8 μm a 1,2 μm |
Lado Duplo Polido | Superfície frontal | Epi-polido, Ra <0,2 nm (por AFM) |
(DSP) | Superfície traseira | Epi-polido, Ra <0,2 nm (por AFM) |
TTV | < 20 μm | |
ARCO | < 20 μm | |
URDIDURA | < 20 μm | |
Limpeza / Embalagem | Limpeza de salas limpas classe 100 e embalagem a vácuo, | |
25 peças em embalagem de um cassete ou embalagem de peça única. |
O método Kylopoulos (método KY) é atualmente usado por muitas empresas na China para produzir cristais de safira para uso nas indústrias eletrônica e óptica.
Neste processo, o óxido de alumínio de alta pureza é fundido em um cadinho a temperaturas acima de 2.100 graus Celsius. Normalmente o cadinho é feito de tungstênio ou molibdênio. Um cristal semente orientado com precisão é imerso na alumina fundida. O cristal semente é puxado lentamente para cima e pode ser girado simultaneamente. Ao controlar com precisão o gradiente de temperatura, a taxa de extração e a taxa de resfriamento, um lingote grande, monocristalino e quase cilíndrico pode ser produzido a partir do fundido.
Depois que os lingotes de safira de cristal único são cultivados, eles são perfurados em hastes cilíndricas, que são então cortadas na espessura de janela desejada e finalmente polidas até o acabamento superficial desejado.