Grau de pesquisa de manequim condutor de bolacha 4H-N SiC de 8 polegadas 200 mm

Pequena descrição:

À medida que os mercados de transporte, energia e industrial evoluem, a procura por produtos eletrónicos de potência fiáveis ​​e de alto desempenho continua a crescer.Para atender às necessidades de melhor desempenho de semicondutores, os fabricantes de dispositivos estão buscando materiais semicondutores de banda larga, como nosso portfólio 4H SiC Prime Grade de wafers de carboneto de silício (SiC) tipo 4H n.


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Devido às suas propriedades físicas e eletrônicas exclusivas, o material semicondutor SiC wafer de 200 mm é usado para criar dispositivos eletrônicos de alto desempenho, alta temperatura, resistentes à radiação e de alta frequência.O preço do substrato SiC de 8 polegadas está diminuindo gradualmente à medida que a tecnologia se torna mais avançada e a demanda cresce.Desenvolvimentos tecnológicos recentes levam à fabricação em escala de produção de wafers de SiC de 200 mm.As principais vantagens dos materiais semicondutores de wafer de SiC em comparação com wafers de Si e GaAs: A intensidade do campo elétrico de 4H-SiC durante a quebra de avalanche é mais do que uma ordem de magnitude superior aos valores correspondentes para Si e GaAs.Isto leva a uma diminuição significativa na resistividade do estado Ron.A baixa resistividade no estado, combinada com alta densidade de corrente e condutividade térmica, permite o uso de matrizes muito pequenas para dispositivos de energia.A alta condutividade térmica do SiC reduz a resistência térmica do chip.As propriedades eletrônicas dos dispositivos baseados em wafers de SiC são muito estáveis ​​ao longo do tempo e à temperatura, o que garante alta confiabilidade dos produtos.O carboneto de silício é extremamente resistente à radiação forte, o que não degrada as propriedades eletrônicas do chip.A alta temperatura limite de operação do cristal (mais de 6.000°C) permite criar dispositivos altamente confiáveis ​​para condições operacionais adversas e aplicações especiais.Atualmente, podemos fornecer wafers de 200mmSiC em pequenos lotes de forma constante e contínua e ter algum estoque no armazém.

Especificação

Número Item Unidade Produção Pesquisar Fictício
1. Parâmetros
1.1 politipo -- 4H 4H 4H
1.2 orientação da superfície ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Parâmetro elétrico
2.1 dopante -- Nitrogênio tipo n Nitrogênio tipo n Nitrogênio tipo n
2.2 resistividade ohm·cm 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3. Parâmetro mecânico
3.1 diâmetro mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 grossura μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Orientação do entalhe ° [1-100]±5 [1-100]±5 [1-100]±5
3.4 Profundidade do entalhe mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3.5 LTV μm ≤5(10mm*10mm) ≤5(10mm*10mm) ≤10(10mm*10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Arco μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Urdidura μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Estrutura
4.1 densidade do microtubo ea/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 conteúdo metálico átomos/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD ea/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 DBP ea/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4,5 TED ea/cm2 ≤7000 ≤10.000 NA
5. Qualidade positiva
5.1 frente -- Si Si Si
5.2 acabamento de superfície -- CMP de face Si CMP de face Si CMP de face Si
5.3 partícula cada / bolacha ≤100(tamanho≥0,3μm) NA NA
5.4 arranhar cada / bolacha ≤5,Comprimento Total≤200mm NA NA
5.5 Borda
lascas/recortes/rachaduras/manchas/contaminação
-- Nenhum Nenhum NA
5.6 Áreas politípicas -- Nenhum Área ≤10% Área ≤30%
5.7 marcação frontal -- Nenhum Nenhum Nenhum
6. Qualidade traseira
6.1 acabamento traseiro -- Deputado face C Deputado face C Deputado face C
6.2 arranhar mm NA NA NA
6.3 Borda de defeitos traseiros
chips/recuos
-- Nenhum Nenhum NA
6.4 Rugosidade nas costas nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6,5 Marcação traseira -- Entalhe Entalhe Entalhe
7. Borda
7.1 borda -- Chanfro Chanfro Chanfro
8. Pacote
8.1 embalagem -- Epi-pronto com vácuo
embalagem
Epi-pronto com vácuo
embalagem
Epi-pronto com vácuo
embalagem
8.2 embalagem -- Multi-wafer
embalagem de cassete
Multi-wafer
embalagem de cassete
Multi-wafer
embalagem de cassete

Diagrama Detalhado

SiC03 de 8 polegadas
SiC4 de 8 polegadas
SiC5 de 8 polegadas
SiC6 de 8 polegadas

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