Molde AlN de 50,8 mm/100 mm em molde AlN NPSS/FSS em safira

Descrição curta:

AlN-Sobre-Safira refere-se a uma combinação de materiais na qual filmes de nitreto de alumínio são cultivados em substratos de safira. Nessa estrutura, filmes de nitreto de alumínio de alta qualidade podem ser cultivados por deposição química de vapor (CVD) ou deposição química de vapor organométrica (MOCVD), o que torna o filme de nitreto de alumínio e o substrato de safira uma boa combinação. As vantagens dessa estrutura são que o nitreto de alumínio possui alta condutividade térmica, alta estabilidade química e excelentes propriedades ópticas, enquanto o substrato de safira possui excelentes propriedades mecânicas e térmicas, além de transparência.


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AlN-Sobre-Safira

O AlN-On-Sapphire pode ser usado para fabricar uma variedade de dispositivos fotoelétricos, como:
1. Chips de LED: Os chips de LED geralmente são feitos de filmes de nitreto de alumínio e outros materiais. A eficiência e a estabilidade dos LEDs podem ser melhoradas com o uso de wafers de AlN sobre safira como substrato.
2. Lasers: wafers de AlN sobre safira também podem ser usados ​​como substratos para lasers, que são comumente usados ​​em aplicações médicas, de comunicação e de processamento de materiais.
3. Células solares: A fabricação de células solares requer o uso de materiais como nitreto de alumínio. O AlN sobre safira como substrato pode aumentar a eficiência e a vida útil das células solares.
4. Outros dispositivos optoeletrônicos: wafers de AlN sobre safira também podem ser usados ​​para fabricar fotodetectores, dispositivos optoeletrônicos e outros dispositivos optoeletrônicos.

Concluindo, os wafers de AlN sobre safira são amplamente utilizados no campo optoelétrico devido à sua alta condutividade térmica, alta estabilidade química, baixa perda e excelentes propriedades ópticas.

Modelo AlN de 50,8 mm/100 mm em NPSS/FSS

Item Observações
Descrição Modelo AlN-on-NPSS Modelo AlN-on-FSS
Diâmetro da bolacha 50,8 mm, 100 mm
Substrato NPSS do plano C c-plane Planar Sapphire (FSS)
Espessura do substrato 50,8 mm, 100 mm c-plane Safira Planar (FSS) 100 mm: 650 um
Espessura da epi-camada AIN 3~4 um (alvo: 3,3 um)
Condutividade Isolante

Superfície

Como crescido
RMS<1 nm RMS<2 nm
Parte traseira Moído
FWHM(002)XRC < 150 segundos de arco < 150 segundos de arco
FWHM(102)XRC < 300 segundos de arco < 300 segundos de arco
Exclusão de Borda < 2 mm < 3 mm
Orientação plana primária a-plano+0,1°
Comprimento plano primário 50,8 mm: 16+/-1 mm 100 mm: 30+/-1 mm
Pacote Embalado em caixa de transporte ou recipiente de wafer único

Diagrama Detalhado

Modelo FSS AlN em sapphire3
Modelo FSS AlN em sapphire4

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