Wafer de carbeto de silício (SiC) de 6 polegadas (150 mm), tipo 4H-N, para pesquisa e teste de produção de MOS ou SBD.

Descrição resumida:

O substrato monocristalino de carbeto de silício de 6 polegadas é um material de alto desempenho com excelentes propriedades físicas e químicas. Fabricado a partir de carbeto de silício monocristalino de alta pureza, apresenta condutividade térmica superior, estabilidade mecânica e resistência a altas temperaturas. Este substrato, produzido com processos de fabricação de precisão e materiais de alta qualidade, tornou-se o material preferido para a fabricação de dispositivos eletrônicos de alta eficiência em diversas áreas.


Características

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O substrato monocristalino de carbeto de silício de 6 polegadas desempenha um papel crucial em diversos setores industriais. Primeiramente, é amplamente utilizado na indústria de semicondutores para a fabricação de dispositivos eletrônicos de alta potência, como transistores de potência, circuitos integrados e módulos de potência. Sua alta condutividade térmica e resistência a altas temperaturas permitem uma melhor dissipação de calor, resultando em maior eficiência e confiabilidade. Em segundo lugar, as pastilhas de carbeto de silício são essenciais em pesquisas para o desenvolvimento de novos materiais e dispositivos. Além disso, a pastilha de carbeto de silício encontra ampla aplicação na área de optoeletrônica, incluindo a fabricação de LEDs e diodos laser.

Especificações do produto

O substrato monocristalino de carbeto de silício de 6 polegadas possui um diâmetro de 6 polegadas (aproximadamente 152,4 mm). A rugosidade da superfície é Ra < 0,5 nm e a espessura é de 600 ± 25 μm. O substrato pode ser personalizado com condutividade do tipo N ou do tipo P, de acordo com as necessidades do cliente. Além disso, apresenta excepcional estabilidade mecânica, sendo capaz de suportar pressão e vibração.

Diâmetro 150±2,0mm (6 polegadas)

Grossura

350 μm±25 μm

Orientação

No eixo: <0001>±0,5°

Fora do eixo: 4,0° em direção a 1120±0,5°

Politipo 4H

Resistividade (Ω·cm)

4H-N

0,015~0,028Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm

4/6H-SI

>1E5

Orientação plana primária

{10-10}±5,0°

Comprimento plano primário (mm)

47,5 mm ± 2,5 mm

Borda

Chanfro

TTV/Arco/Distorção (um)

≤15 /≤40 /≤60

Frente AFM (face Si)

Polonês Ra≤1 nm

CMP Ra≤0,5 nm

LTV

≤3μm (10mm*10mm)

≤5μm (10mm*10mm)

≤10μm (10mm*10mm)

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

Casca de laranja/caroços/rachaduras/contaminação/manchas/estrias

Nenhum Nenhum Nenhum

recuos

Nenhum Nenhum Nenhum

O substrato monocristalino de carbeto de silício de 6 polegadas é um material de alto desempenho amplamente utilizado nas indústrias de semicondutores, pesquisa e optoeletrônica. Oferece excelente condutividade térmica, estabilidade mecânica e resistência a altas temperaturas, tornando-o adequado para a fabricação de dispositivos eletrônicos de alta potência e para a pesquisa de novos materiais. Oferecemos diversas especificações e opções de personalização para atender às variadas demandas dos clientes.Entre em contato conosco para obter mais detalhes sobre wafers de carbeto de silício!

Diagrama detalhado

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