Wafer de carbeto de silício (SiC) de 6 polegadas (150 mm), tipo 4H-N, para pesquisa e teste de produção de MOS ou SBD.
Campos de inscrição
O substrato monocristalino de carbeto de silício de 6 polegadas desempenha um papel crucial em diversos setores industriais. Primeiramente, é amplamente utilizado na indústria de semicondutores para a fabricação de dispositivos eletrônicos de alta potência, como transistores de potência, circuitos integrados e módulos de potência. Sua alta condutividade térmica e resistência a altas temperaturas permitem uma melhor dissipação de calor, resultando em maior eficiência e confiabilidade. Em segundo lugar, as pastilhas de carbeto de silício são essenciais em pesquisas para o desenvolvimento de novos materiais e dispositivos. Além disso, a pastilha de carbeto de silício encontra ampla aplicação na área de optoeletrônica, incluindo a fabricação de LEDs e diodos laser.
Especificações do produto
O substrato monocristalino de carbeto de silício de 6 polegadas possui um diâmetro de 6 polegadas (aproximadamente 152,4 mm). A rugosidade da superfície é Ra < 0,5 nm e a espessura é de 600 ± 25 μm. O substrato pode ser personalizado com condutividade do tipo N ou do tipo P, de acordo com as necessidades do cliente. Além disso, apresenta excepcional estabilidade mecânica, sendo capaz de suportar pressão e vibração.
| Diâmetro | 150±2,0mm (6 polegadas) | ||||
| Grossura | 350 μm±25 μm | ||||
| Orientação | No eixo: <0001>±0,5° | Fora do eixo: 4,0° em direção a 1120±0,5° | |||
| Politipo | 4H | ||||
| Resistividade (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Orientação plana primária | {10-10}±5,0° | ||||
| Comprimento plano primário (mm) | 47,5 mm ± 2,5 mm | ||||
| Borda | Chanfro | ||||
| TTV/Arco/Distorção (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| Frente AFM (face Si) | Polonês Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0,5 nm | |||||
| LTV | ≤3μm (10mm*10mm) | ≤5μm (10mm*10mm) | ≤10μm (10mm*10mm) | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm | ||
| Casca de laranja/caroços/rachaduras/contaminação/manchas/estrias | Nenhum | Nenhum | Nenhum | ||
| recuos | Nenhum | Nenhum | Nenhum | ||
O substrato monocristalino de carbeto de silício de 6 polegadas é um material de alto desempenho amplamente utilizado nas indústrias de semicondutores, pesquisa e optoeletrônica. Oferece excelente condutividade térmica, estabilidade mecânica e resistência a altas temperaturas, tornando-o adequado para a fabricação de dispositivos eletrônicos de alta potência e para a pesquisa de novos materiais. Oferecemos diversas especificações e opções de personalização para atender às variadas demandas dos clientes.Entre em contato conosco para obter mais detalhes sobre wafers de carbeto de silício!
Diagrama detalhado






