Wafers de carboneto de silício SiC de 6 polegadas e 150 mm, tipo 4H-N para pesquisa de produção MOS ou SBD e grau fictício
Campos de Aplicação
O substrato monocristalino de carboneto de silício de 6 polegadas desempenha um papel crucial em diversos setores. Primeiramente, é amplamente utilizado na indústria de semicondutores para a fabricação de dispositivos eletrônicos de alta potência, como transistores de potência, circuitos integrados e módulos de potência. Sua alta condutividade térmica e resistência a altas temperaturas permitem melhor dissipação de calor, resultando em maior eficiência e confiabilidade. Em segundo lugar, as pastilhas de carboneto de silício são essenciais em campos de pesquisa para o desenvolvimento de novos materiais e dispositivos. Além disso, as pastilhas de carboneto de silício encontram amplas aplicações no campo da optoeletrônica, incluindo a fabricação de LEDs e diodos laser.
Especificações do produto
O substrato monocristalino de carboneto de silício de 6 polegadas possui um diâmetro de 6 polegadas (aproximadamente 152,4 mm). A rugosidade da superfície é Ra < 0,5 nm e a espessura é de 600 ± 25 μm. O substrato pode ser personalizado com condutividade tipo N ou tipo P, de acordo com as necessidades do cliente. Além disso, apresenta estabilidade mecânica excepcional, capaz de suportar pressão e vibração.
Diâmetro | 150±2,0 mm (6 polegadas) | ||||
Grossura | 350 μm±25 μm | ||||
Orientação | No eixo: <0001>±0,5° | Fora do eixo: 4,0° em direção a 1120±0,5° | |||
Polítipo | 4H | ||||
Resistividade (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Orientação plana primária | {10-10}±5,0° | ||||
Comprimento plano primário (mm) | 47,5 mm ± 2,5 mm | ||||
Borda | Chanfro | ||||
TTV/Arco/Distorção (hum) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM Frontal (face Si) | Ra polonês≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,5 nm | |||||
LTV | ≤3μm (10 mm * 10 mm) | ≤5μm (10 mm * 10 mm) | ≤10μm (10 mm * 10 mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Casca de laranja/caroços/rachaduras/contaminação/manchas/estrias | Nenhum | Nenhum | Nenhum | ||
recuos | Nenhum | Nenhum | Nenhum |
O substrato monocristalino de carboneto de silício de 6 polegadas é um material de alto desempenho amplamente utilizado nas indústrias de semicondutores, pesquisa e optoeletrônica. Oferece excelente condutividade térmica, estabilidade mecânica e resistência a altas temperaturas, tornando-o adequado para a fabricação de dispositivos eletrônicos de alta potência e pesquisa de novos materiais. Oferecemos diversas especificações e opções de personalização para atender às diversas demandas dos clientes.Entre em contato conosco para mais detalhes sobre wafers de carboneto de silício!
Diagrama Detalhado

