Wafer de carboneto de silício SiC de 8 polegadas 4H-N tipo 0,5mm substrato polido personalizado de grau de produção de pesquisa

Breve descrição:

O carboneto de silício (SiC), também conhecido como carboneto de silício, é um semicondutor que contém silício e carbono com a fórmula química SiC. O SiC é usado em dispositivos eletrônicos semicondutores que operam em altas temperaturas ou altas pressões, ou ambos. O SiC também é um dos componentes importantes do LED, é um substrato comum para o cultivo de dispositivos GaN e também pode ser usado como dissipador de calor para LEDs de alta potência.
O substrato de carboneto de silício de 8 polegadas é uma parte importante da terceira geração de materiais semicondutores, que possui as características de alta resistência do campo de ruptura, alta condutividade térmica, alta taxa de deriva de saturação de elétrons, etc., e é adequado para produzir altas temperaturas, dispositivos eletrônicos de alta tensão e alta potência. Seus principais campos de aplicação incluem veículos elétricos, trânsito ferroviário, transmissão e transformação de energia de alta tensão, energia fotovoltaica, comunicações 5G, armazenamento de energia, aeroespacial e centros de dados de potência de computação central de IA.


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As principais características do substrato de carboneto de silício tipo 4H-N de 8 polegadas incluem:

1. Densidade dos microtúbulos: ≤ 0,1/cm² ou inferior, como a densidade dos microtúbulos é significativamente reduzida para menos de 0,05/cm² em alguns produtos.
2. Proporção de forma de cristal: A proporção de forma de cristal 4H-SiC atinge 100%.
3. Resistividade: 0,014 ~ 0,028 Ω·cm, ou mais estável entre 0,015-0,025 Ω·cm.
4. Rugosidade da superfície: CMP Si Face Ra≤0,12nm.
5. Espessura: Geralmente 500,0±25μm ou 350,0±25μm.
6. Ângulo de chanframento: 25±5° ou 30±5° para A1/A2 dependendo da espessura.
7. Densidade total de deslocamento: ≤3000/cm².
8. Contaminação metálica da superfície: ≤1E+11 átomos/cm².
9. Dobramento e empenamento: ≤ 20μm e ≤2μm, respectivamente.
Essas características fazem com que os substratos de carboneto de silício de 8 polegadas tenham um importante valor de aplicação na fabricação de dispositivos eletrônicos de alta temperatura, alta frequência e alta potência.

O wafer de carboneto de silício de 8 polegadas tem diversas aplicações.

1. Dispositivos de potência: Os wafers de SiC são amplamente utilizados na fabricação de dispositivos eletrônicos de potência, como MOSFETs de potência (transistores de efeito de campo semicondutores de óxido metálico), diodos Schottky e módulos de integração de potência. Devido à alta condutividade térmica, alta tensão de ruptura e alta mobilidade eletrônica do SiC, esses dispositivos podem alcançar conversão de energia eficiente e de alto desempenho em ambientes de alta temperatura, alta tensão e alta frequência.

2. Dispositivos optoeletrônicos: Os wafers de SiC desempenham um papel vital em dispositivos optoeletrônicos, usados ​​para fabricar fotodetectores, diodos laser, fontes ultravioleta, etc. As propriedades ópticas e eletrônicas superiores do carboneto de silício o tornam o material de escolha, especialmente em aplicações que exigem altas temperaturas, altas frequências e altos níveis de potência.

3. Dispositivos de radiofrequência (RF): Os chips SiC também são usados ​​para fabricar dispositivos de RF, como amplificadores de potência de RF, interruptores de alta frequência, sensores de RF e muito mais. A alta estabilidade térmica, as características de alta frequência e as baixas perdas do SiC o tornam ideal para aplicações de RF, como comunicações sem fio e sistemas de radar.

4. Eletrônicos de alta temperatura: Devido à sua alta estabilidade térmica e elasticidade de temperatura, os wafers de SiC são usados ​​para produzir produtos eletrônicos projetados para operar em ambientes de alta temperatura, incluindo eletrônicos de potência de alta temperatura, sensores e controladores.

Os principais caminhos de aplicação do substrato de carboneto de silício tipo 4H-N de 8 polegadas incluem a fabricação de dispositivos eletrônicos de alta temperatura, alta frequência e alta potência, especialmente nas áreas de eletrônica automotiva, energia solar, geração de energia eólica, elétrica locomotivas, servidores, eletrodomésticos e veículos elétricos. Além disso, dispositivos como MOSFETs de SiC e diodos Schottky demonstraram excelente desempenho em frequências de comutação, experimentos de curto-circuito e aplicações de inversores, impulsionando seu uso em eletrônica de potência.

O XKH pode ser personalizado com diferentes espessuras de acordo com a necessidade do cliente. Diferentes tratamentos de rugosidade e polimento de superfície estão disponíveis. São suportados diferentes tipos de dopagem (como a dopagem com azoto). A XKH pode fornecer suporte técnico e serviços de consultoria para garantir que os clientes possam resolver problemas no processo de uso. O substrato de carboneto de silício de 8 polegadas tem vantagens significativas em termos de redução de custos e aumento de capacidade, o que pode reduzir o custo unitário do chip em cerca de 50% em comparação com o substrato de 6 polegadas. Além disso, o aumento da espessura do substrato de 8 polegadas ajuda a reduzir os desvios geométricos e o empenamento das arestas durante a usinagem, melhorando assim o rendimento.

Diagrama Detalhado

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