Wafer de carboneto de silício SiC de 8 polegadas, tipo 4H-N, 0,5 mm, grau de produção, substrato polido personalizado de grau de pesquisa

Descrição curta:

O carboneto de silício (SiC), também conhecido como carboneto de silício, é um semicondutor que contém silício e carbono, com a fórmula química SiC. O SiC é usado em dispositivos eletrônicos semicondutores que operam em altas temperaturas ou altas pressões, ou ambos. O SiC também é um dos componentes importantes dos LEDs, sendo um substrato comum para o desenvolvimento de dispositivos GaN e também pode ser usado como dissipador de calor para LEDs de alta potência.
O substrato de carboneto de silício de 8 polegadas é uma parte importante da terceira geração de materiais semicondutores, com características como alta intensidade de campo de ruptura, alta condutividade térmica, alta taxa de deriva de saturação de elétrons, entre outras, sendo adequado para a fabricação de dispositivos eletrônicos de alta temperatura, alta tensão e alta potência. Seus principais campos de aplicação incluem veículos elétricos, transporte ferroviário, transmissão e transformação de energia de alta tensão, energia fotovoltaica, comunicações 5G, armazenamento de energia, aeroespacial e data centers de computação de núcleo de IA.


Características

As principais características do substrato de carboneto de silício de 8 polegadas do tipo 4H-N incluem:

1. Densidade de microtúbulos: ≤ 0,1/cm² ou menor, como a densidade de microtúbulos é significativamente reduzida para menos de 0,05/cm² em alguns produtos.
2. Proporção da forma cristalina: a proporção da forma cristalina 4H-SiC atinge 100%.
3. Resistividade: 0,014~0,028 Ω·cm, ou mais estável entre 0,015-0,025 Ω·cm.
4. Rugosidade da superfície: CMP Si Face Ra≤0,12 nm.
5. Espessura: Geralmente 500,0±25μm ou 350,0±25μm.
6. Ângulo de chanfradura: 25±5° ou 30±5° para A1/A2 dependendo da espessura.
7. Densidade total de deslocamentos: ≤3000/cm².
8. Contaminação metálica da superfície: ≤1E+11 átomos/cm².
9. Dobramento e empenamento: ≤ 20μm e ≤2μm, respectivamente.
Essas características fazem com que substratos de carboneto de silício de 8 polegadas tenham importante valor de aplicação na fabricação de dispositivos eletrônicos de alta temperatura, alta frequência e alta potência.

O wafer de carboneto de silício de 8 polegadas tem diversas aplicações.

1. Dispositivos de potência: Os wafers de SiC são amplamente utilizados na fabricação de dispositivos eletrônicos de potência, como MOSFETs de potência (transistores de efeito de campo semicondutores de óxido metálico), diodos Schottky e módulos de integração de potência. Devido à alta condutividade térmica, alta tensão de ruptura e alta mobilidade eletrônica do SiC, esses dispositivos podem alcançar conversão de energia eficiente e de alto desempenho em ambientes de alta temperatura, alta tensão e alta frequência.

2. Dispositivos optoeletrônicos: Os wafers de SiC desempenham um papel vital em dispositivos optoeletrônicos, usados ​​para fabricar fotodetectores, diodos laser, fontes ultravioleta, etc. As propriedades ópticas e eletrônicas superiores do carboneto de silício o tornam o material de escolha, especialmente em aplicações que exigem altas temperaturas, altas frequências e altos níveis de potência.

3. Dispositivos de Radiofrequência (RF): Os chips de SiC também são usados ​​na fabricação de dispositivos de RF, como amplificadores de potência de RF, interruptores de alta frequência, sensores de RF e muito mais. A alta estabilidade térmica, as características de alta frequência e as baixas perdas do SiC o tornam ideal para aplicações de RF, como comunicações sem fio e sistemas de radar.

4. Eletrônicos de alta temperatura: Devido à sua alta estabilidade térmica e elasticidade de temperatura, os wafers de SiC são usados ​​para produzir produtos eletrônicos projetados para operar em ambientes de alta temperatura, incluindo eletrônicos de potência de alta temperatura, sensores e controladores.

As principais aplicações do substrato de carboneto de silício de 8 polegadas do tipo 4H-N incluem a fabricação de dispositivos eletrônicos de alta temperatura, alta frequência e alta potência, especialmente nas áreas de eletrônica automotiva, energia solar, geração de energia eólica, locomotivas elétricas, servidores, eletrodomésticos e veículos elétricos. Além disso, dispositivos como MOSFETs de SiC e diodos Schottky demonstraram excelente desempenho em frequências de comutação, experimentos de curto-circuito e aplicações com inversores, impulsionando seu uso em eletrônica de potência.

A XKH pode ser personalizada com diferentes espessuras, de acordo com as necessidades do cliente. Diferentes rugosidades superficiais e tratamentos de polimento estão disponíveis. Diversos tipos de dopagem (como dopagem com nitrogênio) são suportados. A XKH pode fornecer suporte técnico e serviços de consultoria para garantir que os clientes possam solucionar problemas durante o processo de uso. O substrato de carboneto de silício de 8 polegadas apresenta vantagens significativas em termos de redução de custos e aumento de capacidade, o que pode reduzir o custo unitário do chip em cerca de 50% em comparação com o substrato de 6 polegadas. Além disso, a espessura aumentada do substrato de 8 polegadas ajuda a reduzir desvios geométricos e empenamentos de aresta durante a usinagem, melhorando assim o rendimento.

Diagrama Detalhado

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