Wafer de silício 4H-N condutor de 8 polegadas (200 mm) para pesquisa (modelo fictício).
Devido às suas propriedades físicas e eletrônicas únicas, o material semicondutor em wafers de SiC de 200 mm é utilizado na criação de dispositivos eletrônicos de alto desempenho, resistentes a altas temperaturas, radiação e alta frequência. O preço do substrato de SiC de 8 polegadas está diminuindo gradualmente à medida que a tecnologia avança e a demanda aumenta. Os recentes desenvolvimentos tecnológicos possibilitaram a fabricação em escala de wafers de SiC de 200 mm. As principais vantagens dos materiais semicondutores em wafers de SiC em comparação com wafers de Si e GaAs são: a intensidade do campo elétrico do 4H-SiC durante a ruptura por avalanche é mais de uma ordem de magnitude superior aos valores correspondentes para Si e GaAs. Isso leva a uma redução significativa na resistividade no estado ligado (Ron). A baixa resistividade no estado ligado, combinada com alta densidade de corrente e condutividade térmica, permite o uso de chips muito pequenos para dispositivos de potência. A alta condutividade térmica do SiC reduz a resistência térmica do chip. As propriedades eletrônicas dos dispositivos baseados em wafers de SiC são muito estáveis ao longo do tempo e em diferentes temperaturas, o que garante alta confiabilidade dos produtos. O carboneto de silício é extremamente resistente à radiação intensa, o que não degrada as propriedades eletrônicas do chip. A alta temperatura limite de operação do cristal (acima de 6000 °C) permite a criação de dispositivos altamente confiáveis para condições operacionais severas e aplicações especiais. Atualmente, podemos fornecer pequenos lotes de wafers de SiC de 200 mm de forma estável e contínua, e temos alguns em estoque.
Especificação
| Número | Item | Unidade | Produção | Pesquisar | Fictício |
| 1. Parâmetros | |||||
| 1.1 | politipo | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | orientação da superfície | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2. Parâmetro elétrico | |||||
| 2.1 | dopante | -- | Nitrogênio tipo n | Nitrogênio tipo n | Nitrogênio tipo n |
| 2.2 | resistividade | ohm ·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3. Parâmetro mecânico | |||||
| 3.1 | diâmetro | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | grossura | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Orientação do entalhe | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Profundidade do entalhe | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3,5 | LTV | μm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Arco | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3,8 | Urdidura | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3,9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4. Estrutura | |||||
| 4.1 | densidade de microtubos | cada/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | teor de metal | átomos/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | cada/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | Transtorno de Personalidade Borderline | cada/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4,5 | TED | cada/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Qualidade positiva | |||||
| 5.1 | frente | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | acabamento de superfície | -- | CMP de face Si | CMP de face Si | CMP de face Si |
| 5.3 | partícula | cada/wafer | ≤100 (tamanho ≥ 0,3 μm) | NA | NA |
| 5.4 | arranhar | cada/wafer | ≤5, Comprimento total ≤200 mm | NA | NA |
| 5,5 | Borda lascas/arranhões/rachaduras/manchas/contaminação | -- | Nenhum | Nenhum | NA |
| 5.6 | Áreas de politipos | -- | Nenhum | Área ≤10% | Área ≤30% |
| 5.7 | marcação frontal | -- | Nenhum | Nenhum | Nenhum |
| 6. Qualidade das costas | |||||
| 6.1 | acabamento traseiro | -- | MP de face C | MP de face C | MP de face C |
| 6.2 | arranhar | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Defeitos na borda traseira lascas/recortes | -- | Nenhum | Nenhum | NA |
| 6.4 | aspereza nas costas | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6,5 | Marcação traseira | -- | Entalhe | Entalhe | Entalhe |
| 7. Borda | |||||
| 7.1 | borda | -- | Chanfro | Chanfro | Chanfro |
| 8. Pacote | |||||
| 8.1 | embalagem | -- | Pronto para epidural com vácuo embalagem | Pronto para epidural com vácuo embalagem | Pronto para epidural com vácuo embalagem |
| 8.2 | embalagem | -- | Multi-wafer embalagem de cassete | Multi-wafer embalagem de cassete | Multi-wafer embalagem de cassete |
Diagrama detalhado






