Wafer de silício 4H-N condutor de 8 polegadas (200 mm) para pesquisa (modelo fictício).

Descrição resumida:

Com a evolução dos mercados de transporte, energia e indústria, a demanda por eletrônica de potência confiável e de alto desempenho continua a crescer. Para atender às necessidades de melhor desempenho de semicondutores, os fabricantes de dispositivos estão buscando materiais semicondutores de banda proibida larga, como nosso portfólio de wafers de carbeto de silício (SiC) tipo n 4H Prime Grade.


Características

Devido às suas propriedades físicas e eletrônicas únicas, o material semicondutor em wafers de SiC de 200 mm é utilizado na criação de dispositivos eletrônicos de alto desempenho, resistentes a altas temperaturas, radiação e alta frequência. O preço do substrato de SiC de 8 polegadas está diminuindo gradualmente à medida que a tecnologia avança e a demanda aumenta. Os recentes desenvolvimentos tecnológicos possibilitaram a fabricação em escala de wafers de SiC de 200 mm. As principais vantagens dos materiais semicondutores em wafers de SiC em comparação com wafers de Si e GaAs são: a intensidade do campo elétrico do 4H-SiC durante a ruptura por avalanche é mais de uma ordem de magnitude superior aos valores correspondentes para Si e GaAs. Isso leva a uma redução significativa na resistividade no estado ligado (Ron). A baixa resistividade no estado ligado, combinada com alta densidade de corrente e condutividade térmica, permite o uso de chips muito pequenos para dispositivos de potência. A alta condutividade térmica do SiC reduz a resistência térmica do chip. As propriedades eletrônicas dos dispositivos baseados em wafers de SiC são muito estáveis ​​ao longo do tempo e em diferentes temperaturas, o que garante alta confiabilidade dos produtos. O carboneto de silício é extremamente resistente à radiação intensa, o que não degrada as propriedades eletrônicas do chip. A alta temperatura limite de operação do cristal (acima de 6000 °C) permite a criação de dispositivos altamente confiáveis ​​para condições operacionais severas e aplicações especiais. Atualmente, podemos fornecer pequenos lotes de wafers de SiC de 200 mm de forma estável e contínua, e temos alguns em estoque.

Especificação

Número Item Unidade Produção Pesquisar Fictício
1. Parâmetros
1.1 politipo -- 4H 4H 4H
1.2 orientação da superfície ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Parâmetro elétrico
2.1 dopante -- Nitrogênio tipo n Nitrogênio tipo n Nitrogênio tipo n
2.2 resistividade ohm ·cm 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3. Parâmetro mecânico
3.1 diâmetro mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 grossura μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Orientação do entalhe ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Profundidade do entalhe mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3,5 LTV μm ≤5 (10 mm * 10 mm) ≤5 (10 mm * 10 mm) ≤10 (10 mm * 10 mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Arco μm -25~25 -45~45 -65~65
3,8 Urdidura μm ≤30 ≤50 ≤70
3,9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Estrutura
4.1 densidade de microtubos cada/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 teor de metal átomos/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD cada/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 Transtorno de Personalidade Borderline cada/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4,5 TED cada/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Qualidade positiva
5.1 frente -- Si Si Si
5.2 acabamento de superfície -- CMP de face Si CMP de face Si CMP de face Si
5.3 partícula cada/wafer ≤100 (tamanho ≥ 0,3 μm) NA NA
5.4 arranhar cada/wafer ≤5, Comprimento total ≤200 mm NA NA
5,5 Borda
lascas/arranhões/rachaduras/manchas/contaminação
-- Nenhum Nenhum NA
5.6 Áreas de politipos -- Nenhum Área ≤10% Área ≤30%
5.7 marcação frontal -- Nenhum Nenhum Nenhum
6. Qualidade das costas
6.1 acabamento traseiro -- MP de face C MP de face C MP de face C
6.2 arranhar mm NA NA NA
6.3 Defeitos na borda traseira
lascas/recortes
-- Nenhum Nenhum NA
6.4 aspereza nas costas nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6,5 Marcação traseira -- Entalhe Entalhe Entalhe
7. Borda
7.1 borda -- Chanfro Chanfro Chanfro
8. Pacote
8.1 embalagem -- Pronto para epidural com vácuo
embalagem
Pronto para epidural com vácuo
embalagem
Pronto para epidural com vácuo
embalagem
8.2 embalagem -- Multi-wafer
embalagem de cassete
Multi-wafer
embalagem de cassete
Multi-wafer
embalagem de cassete

Diagrama detalhado

SiC03 de 8 polegadas
SiC4 de 8 polegadas
SiC5 de 8 polegadas
SiC6 de 8 polegadas

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