Grau de pesquisa de manequim condutor de bolacha 4H-N SiC de 8 polegadas 200 mm
Devido às suas propriedades físicas e eletrônicas exclusivas, o material semicondutor SiC wafer de 200 mm é usado para criar dispositivos eletrônicos de alto desempenho, alta temperatura, resistentes à radiação e de alta frequência. O preço do substrato SiC de 8 polegadas está diminuindo gradualmente à medida que a tecnologia se torna mais avançada e a demanda cresce. Desenvolvimentos tecnológicos recentes levam à fabricação em escala de produção de wafers de SiC de 200 mm. As principais vantagens dos materiais semicondutores de wafer de SiC em comparação com wafers de Si e GaAs: A intensidade do campo elétrico de 4H-SiC durante a quebra de avalanche é mais do que uma ordem de magnitude superior aos valores correspondentes para Si e GaAs. Isto leva a uma diminuição significativa na resistividade do estado Ron. A baixa resistividade no estado, combinada com alta densidade de corrente e condutividade térmica, permite o uso de matrizes muito pequenas para dispositivos de energia. A alta condutividade térmica do SiC reduz a resistência térmica do chip. As propriedades eletrônicas dos dispositivos baseados em wafers de SiC são muito estáveis ao longo do tempo e à temperatura, o que garante alta confiabilidade dos produtos. O carboneto de silício é extremamente resistente à radiação forte, o que não degrada as propriedades eletrônicas do chip. A alta temperatura limite de operação do cristal (mais de 6.000°C) permite criar dispositivos altamente confiáveis para condições operacionais adversas e aplicações especiais. Atualmente, podemos fornecer wafers de 200mmSiC em pequenos lotes de forma constante e contínua e ter algum estoque no armazém.
Especificação
Número | Item | Unidade | Produção | Pesquisar | Fictício |
1. Parâmetros | |||||
1.1 | politipo | -- | 4H | 4H | 4H |
1.2 | orientação da superfície | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
2. Parâmetro elétrico | |||||
2.1 | dopante | -- | Nitrogênio tipo n | Nitrogênio tipo n | Nitrogênio tipo n |
2.2 | resistividade | ohm·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
3. Parâmetro mecânico | |||||
3.1 | diâmetro | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
3.2 | grossura | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
3.3 | Orientação do entalhe | ° | [1-100]±5 | [1-100]±5 | [1-100]±5 |
3.4 | Profundidade do entalhe | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
3.5 | LTV | μm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
3.7 | Arco | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
3.8 | Urdidura | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
4. Estrutura | |||||
4.1 | densidade do microtubo | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
4.2 | conteúdo metálico | átomos/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
4.4 | DBP | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
4,5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10.000 | NA |
5. Qualidade positiva | |||||
5.1 | frente | -- | Si | Si | Si |
5.2 | acabamento superficial | -- | CMP de face Si | CMP de face Si | CMP de face Si |
5.3 | partícula | cada/bolacha | ≤100(tamanho≥0,3μm) | NA | NA |
5.4 | arranhar | cada/bolacha | ≤5,Comprimento Total≤200mm | NA | NA |
5.5 | Borda lascas/recortes/rachaduras/manchas/contaminação | -- | Nenhum | Nenhum | NA |
5.6 | Áreas politípicas | -- | Nenhum | Área ≤10% | Área ≤30% |
5.7 | marcação frontal | -- | Nenhum | Nenhum | Nenhum |
6. Qualidade traseira | |||||
6.1 | acabamento traseiro | -- | Deputado face C | Deputado face C | Deputado face C |
6.2 | arranhar | mm | NA | NA | NA |
6.3 | Borda de defeitos traseiros chips/recuos | -- | Nenhum | Nenhum | NA |
6.4 | Rugosidade nas costas | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
6,5 | Marcação traseira | -- | Entalhe | Entalhe | Entalhe |
7. Borda | |||||
7.1 | borda | -- | Chanfro | Chanfro | Chanfro |
8. Pacote | |||||
8.1 | embalagem | -- | Epi-pronto com vácuo embalagem | Epi-pronto com vácuo embalagem | Epi-pronto com vácuo embalagem |
8.2 | embalagem | -- | Multi-wafer embalagem de cassete | Multi-wafer embalagem de cassete | Multi-wafer embalagem de cassete |