Wafer de SiC 4H-N de 8 polegadas e 200 mm, condutor, para pesquisa

Descrição curta:

À medida que os mercados de transporte, energia e indústria evoluem, a demanda por eletrônica de potência confiável e de alto desempenho continua a crescer. Para atender às necessidades de melhor desempenho de semicondutores, os fabricantes de dispositivos estão buscando materiais semicondutores com ampla faixa de banda, como nosso portfólio 4H SiC Prime Grade de wafers de carboneto de silício (SiC) tipo n 4H.


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Devido às suas propriedades físicas e eletrônicas únicas, o material semicondutor de wafer de SiC de 200 mm é usado para criar dispositivos eletrônicos de alto desempenho, alta temperatura, resistentes à radiação e alta frequência. O preço do substrato de SiC de 8 polegadas está diminuindo gradualmente à medida que a tecnologia se torna mais avançada e a demanda cresce. Desenvolvimentos tecnológicos recentes levaram à produção em escala de wafers de SiC de 200 mm. As principais vantagens dos materiais semicondutores de wafer de SiC em comparação com wafers de Si e GaAs: A intensidade do campo elétrico do 4H-SiC durante a ruptura por avalanche é mais do que uma ordem de magnitude maior do que os valores correspondentes para Si e GaAs. Isso leva a uma diminuição significativa na resistividade no estado on-state (RON). A baixa resistividade no estado on-state, combinada com alta densidade de corrente e condutividade térmica, permite o uso de matrizes muito pequenas para dispositivos de energia. A alta condutividade térmica do SiC reduz a resistência térmica do chip. As propriedades eletrônicas dos dispositivos baseados em wafers de SiC são muito estáveis ​​ao longo do tempo e em temperatura, o que garante alta confiabilidade dos produtos. O carboneto de silício é extremamente resistente à radiação forte, o que não degrada as propriedades eletrônicas do chip. A alta temperatura limite de operação do cristal (acima de 6000°C) permite a criação de dispositivos altamente confiáveis ​​para condições operacionais adversas e aplicações especiais. Atualmente, podemos fornecer wafers de 200 mmSiC em pequenos lotes de forma constante e contínua, e temos alguns estoques em estoque.

Especificação

Número Item Unidade Produção Pesquisar Fictício
1. Parâmetros
1.1 politipo -- 4H 4H 4H
1.2 orientação da superfície ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Parâmetro elétrico
2.1 dopante -- Nitrogênio tipo n Nitrogênio tipo n Nitrogênio tipo n
2.2 resistividade ohm · cm 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3. Parâmetro mecânico
3.1 diâmetro mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 grossura μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Orientação do entalhe ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Profundidade do entalhe mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3,5 LTV μm ≤5(10mm*10mm) ≤5(10mm*10mm) ≤10(10mm*10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Arco μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Urdidura μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Estrutura
4.1 densidade de microtubos ea/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 teor de metal átomos/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD ea/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 TPB ea/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED ea/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Qualidade positiva
5.1 frente -- Si Si Si
5.2 acabamento de superfície -- Si-face CMP Si-face CMP Si-face CMP
5.3 partícula ea/wafer ≤100 (tamanho ≥0,3μm) NA NA
5.4 arranhar ea/wafer ≤5, Comprimento total ≤200 mm NA NA
5.5 Borda
lascas/entalhes/rachaduras/manchas/contaminação
-- Nenhum Nenhum NA
5.6 Áreas de politipo -- Nenhum Área ≤10% Área ≤30%
5.7 marcação frontal -- Nenhum Nenhum Nenhum
6. Qualidade de volta
6.1 acabamento traseiro -- MP com face C MP com face C MP com face C
6.2 arranhar mm NA NA NA
6.3 Borda com defeitos nas costas
lascas/entalhes
-- Nenhum Nenhum NA
6.4 Rugosidade nas costas nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6,5 Marcação traseira -- Entalhe Entalhe Entalhe
7. Borda
7.1 borda -- Chanfro Chanfro Chanfro
8. Pacote
8.1 embalagem -- Pronto para epi com vácuo
embalagem
Pronto para epi com vácuo
embalagem
Pronto para epi com vácuo
embalagem
8.2 embalagem -- Multi-wafer
embalagem de cassete
Multi-wafer
embalagem de cassete
Multi-wafer
embalagem de cassete

Diagrama Detalhado

SiC03 de 8 polegadas
SiC4 de 8 polegadas
SiC5 de 8 polegadas
SiC6 de 8 polegadas

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