Wafer de SiC de 8 polegadas com grau de produção, substrato de SiC 4H-N
A tabela a seguir mostra as especificações de nossos wafers de SiC de 8 polegadas:
| Especificações do DSP SiC tipo N de 8 polegadas | |||||
| Número | Item | Unidade | Produção | Pesquisar | Fictício |
| 1:parâmetros | |||||
| 1.1 | politipo | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | orientação da superfície | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2: Parâmetro elétrico | |||||
| 2.1 | dopante | -- | Nitrogênio tipo n | Nitrogênio tipo n | Nitrogênio tipo n |
| 2.2 | resistividade | ohm · cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Parâmetro mecânico | |||||
| 3.1 | diâmetro | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | grossura | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Orientação do entalhe | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Profundidade do entalhe | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3,5 | LTV | μm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Arco | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Urdidura | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4:Estrutura | |||||
| 4.1 | densidade de microtubos | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | teor de metal | átomos/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | TPB | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Qualidade frontal | |||||
| 5.1 | frente | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | acabamento de superfície | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | partícula | ea/wafer | ≤100 (tamanho ≥0,3μm) | NA | NA |
| 5.4 | arranhar | ea/wafer | ≤5, Comprimento total ≤200 mm | NA | NA |
| 5.5 | Borda lascas/entalhes/rachaduras/manchas/contaminação | -- | Nenhum | Nenhum | NA |
| 5.6 | Áreas de politipo | -- | Nenhum | Área ≤10% | Área ≤30% |
| 5.7 | marcação frontal | -- | Nenhum | Nenhum | Nenhum |
| 6: Qualidade de retorno | |||||
| 6.1 | acabamento traseiro | -- | MP com face C | MP com face C | MP com face C |
| 6.2 | arranhar | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Borda com defeitos nas costas lascas/entalhes | -- | Nenhum | Nenhum | NA |
| 6.4 | Rugosidade nas costas | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6,5 | Marcação traseira | -- | Entalhe | Entalhe | Entalhe |
| 7:borda | |||||
| 7.1 | borda | -- | Chanfro | Chanfro | Chanfro |
| 8:Pacote | |||||
| 8.1 | embalagem | -- | Pronto para epi com vácuo embalagem | Pronto para epi com vácuo embalagem | Pronto para epi com vácuo embalagem |
| 8.2 | embalagem | -- | Multi-wafer embalagem de cassete | Multi-wafer embalagem de cassete | Multi-wafer embalagem de cassete |
Diagrama Detalhado
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