Dia300x1.0mmt Espessura Wafer Safira C-Plane SSP/DSP
Introdução da caixa de wafer
Materiais Cristalinos | 99,999% de Al2O3, alta pureza, monocristalino, Al2O3 | |||
Qualidade de cristal | Inclusões, marcas de bloco, gêmeos, cores, microbolhas e centros de dispersão são inexistentes | |||
Diâmetro | 2 polegadas | 3 polegadas | 4 polegadas | 6 polegadas ~ 12 polegadas |
50,8±0,1 mm | 76,2±0,2 mm | 100±0,3 mm | De acordo com as disposições da produção padrão | |
Grossura | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Pode ser personalizado pelo cliente |
Orientação | Plano C (0001) para plano M (1-100) ou plano A (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, plano R (1-1 0 2), plano A (1 1-2 0), plano M (1-1 0 0), qualquer orientação, qualquer ângulo | |||
Comprimento plano primário | 16,0±1mm | 22,0±1,0mm | 32,5±1,5mm | De acordo com as disposições da produção padrão |
Orientação plana primária | Plano A (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
ARCO | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Urdidura | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Superfície frontal | Epi-polido (Ra<0,2nm) |
*Arco: O desvio do ponto central da superfície mediana de um wafer livre e não fixado do plano de referência, onde o plano de referência é definido pelos três cantos de um triângulo equilátero.
*Warp: A diferença entre as distâncias máxima e mínima da superfície mediana de um wafer livre e não fixado do plano de referência definido acima.
Produtos e serviços de alta qualidade para dispositivos semicondutores de próxima geração e crescimento epitaxial:
Alto grau de planicidade (TTV controlado, arco, urdidura, etc.)
Limpeza de alta qualidade (baixa contaminação por partículas, baixa contaminação por metais)
Perfuração de substrato, ranhuramento, corte e polimento traseiro
Anexação de dados como limpeza e formato do substrato (opcional)
Se você precisar de substratos de safira, não hesite em entrar em contato:
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