Dia300x1,0mmt Espessura Wafer Safira C-Plane SSP/DSP
Introdução da caixa de wafer
Materiais de Cristal | 99,999% de Al2O3, alta pureza, monocristalino, Al2O3 | |||
Qualidade do cristal | Inclusões, marcas de bloqueio, gêmeos, cores, microbolhas e centros de dispersão são inexistentes | |||
Diâmetro | 2 polegadas | 3 polegadas | 4 polegadas | 6 polegadas ~ 12 polegadas |
50,8± 0,1 mm | 76,2±0,2 mm | 100±0,3 mm | De acordo com as disposições da produção padrão | |
Grossura | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Pode ser personalizado pelo cliente |
Orientação | Plano C (0001) para plano M (1-100) ou plano A (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, plano R (1-1 0 2), plano A (1 1-2 0 ), plano M (1-1 0 0), qualquer orientação, qualquer ângulo | |||
Comprimento plano primário | 16,0±1 mm | 22,0±1,0 mm | 32,5±1,5 mm | De acordo com as disposições da produção padrão |
Orientação plana primária | Plano A (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
ARCO | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Urdidura | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Superfície Frontal | Epi-polido (Ra< 0,2 nm) |
*Arco: O desvio do ponto central da superfície mediana de uma pastilha livre e não fixada do plano de referência, onde o plano de referência é definido pelos três vértices de um triângulo equilátero.
*Deformação: A diferença entre as distâncias máxima e mínima da superfície mediana de uma pastilha livre e não fixada do plano de referência definido acima.
Produtos e serviços de alta qualidade para dispositivos semicondutores de próxima geração e crescimento epitaxial:
Alto grau de planura (TTV controlado, arco, empenamento etc.)
Limpeza de alta qualidade (baixa contaminação de partículas, baixa contaminação de metais)
Perfuração, ranhura, corte e polimento traseiro do substrato
Anexação de dados como limpeza e formato do substrato (opcional)
Se você precisar de substratos de safira, sinta-se à vontade para entrar em contato:
correspondência:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Entraremos em contato com você o mais breve possível!
Diagrama Detalhado

