Dia300x1.0mmt Espessura Wafer Safira C-Plane SSP/DSP

Breve descrição:

pode produzir wafers de safira com várias orientações de superfície (plano c, r, a e m) e controlar o ângulo de corte em até 0,1 grau. Usando nossa tecnologia proprietária, somos capazes de alcançar a alta qualidade necessária para aplicações como crescimento epitaxial e colagem de wafer.


Detalhes do produto

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Introdução da caixa de wafer

Materiais Cristalinos 99,999% de Al2O3, alta pureza, monocristalino, Al2O3
Qualidade de cristal Inclusões, marcas de bloco, gêmeos, cores, microbolhas e centros de dispersão são inexistentes
Diâmetro 2 polegadas 3 polegadas 4 polegadas 6 polegadas ~ 12 polegadas
50,8±0,1 mm 76,2±0,2 mm 100±0,3 mm De acordo com as disposições da produção padrão
Grossura 430±15µm 550±15µm 650±20µm Pode ser personalizado pelo cliente
Orientação Plano C (0001) para plano M (1-100) ou plano A (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, plano R (1-1 0 2), plano A (1 1-2 0), plano M (1-1 0 0), qualquer orientação, qualquer ângulo
Comprimento plano primário 16,0±1mm 22,0±1,0mm 32,5±1,5mm De acordo com as disposições da produção padrão
Orientação plana primária Plano A (1 1-2 0 ) ± 0,2°      
TTV ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
LTV ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
TIR ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
ARCO ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
Urdidura ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
Superfície frontal Epi-polido (Ra<0,2nm)

*Arco: O desvio do ponto central da superfície mediana de um wafer livre e não fixado do plano de referência, onde o plano de referência é definido pelos três cantos de um triângulo equilátero.

*Warp: A diferença entre as distâncias máxima e mínima da superfície mediana de um wafer livre e não fixado do plano de referência definido acima.

Produtos e serviços de alta qualidade para dispositivos semicondutores de próxima geração e crescimento epitaxial:

Alto grau de planicidade (TTV controlado, arco, urdidura, etc.)

Limpeza de alta qualidade (baixa contaminação por partículas, baixa contaminação por metais)

Perfuração de substrato, ranhuramento, corte e polimento traseiro

Anexação de dados como limpeza e formato do substrato (opcional)

Se você precisar de substratos de safira, não hesite em entrar em contato:

correspondência:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522

Entraremos em contato com você o mais rápido possível!

Diagrama Detalhado

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