Wafer LiTaO3 2 polegadas-8 polegadas 10x10x0,5 mm 1sp 2sp para comunicações 5G/6G
Parâmetros técnicos
Nome | LiTaO3 de grau óptico | Nível da mesa de som LiTaO3 |
Axial | Corte Z + / - 0,2 ° | Corte Y 36° / Corte Y 42° / Corte X (+ / - 0,2 °) |
Diâmetro | 76,2 mm + / - 0,3 mm/ 100±0,2 mm | 76,2 mm + /- 0,3 mm 100 mm + /- 0,3 mm ou 150 ± 0,5 mm |
Plano de referência | 22 mm + / - 2 mm | 22 mm + /-2 mm 32 mm + /- 2 mm |
Grossura | 500um + /-5mm 1000um + /-5mm | 500um + /-20mm 350um + /-20mm |
TTV | ≤ 10um | ≤ 10um |
Temperatura de Curie | 605 °C + / - 0,7 °C (método DTA) | 605 °C + / -3 °C (método DTA |
Qualidade da superfície | Polimento de dupla face | Polimento de dupla face |
Bordas chanfradas | arredondamento de bordas | arredondamento de bordas |
Características principais
1. Desempenho elétrico e óptico
· Coeficiente eletro-óptico: r33 atinge 30 pm/V (corte X), 1,5× maior que LiNbO3, permitindo modulação eletro-óptica de banda ultralarga (largura de banda >40 GHz).
· Ampla resposta espectral: Faixa de transmissão de 0,4–5,0 μm (espessura de 8 mm), com borda de absorção ultravioleta de até 280 nm, ideal para lasers UV e dispositivos de pontos quânticos.
· Baixo coeficiente piroelétrico: dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(m²·K), garantindo estabilidade em sensores infravermelhos de alta temperatura.
2. Propriedades térmicas e mecânicas
· Alta condutividade térmica: 4,6 W/m·K (corte X), o quádruplo do quartzo, suportando ciclos térmicos de -200–500°C.
· Baixo coeficiente de expansão térmica: CTE = 4,1×10⁻⁶/K (25–1000°C), compatível com embalagens de silicone para minimizar o estresse térmico.
3. Controle de defeitos e precisão de processamento
· Densidade do microtubo: <0,1 cm⁻² (wafers de 8 polegadas), densidade de deslocamento <500 cm⁻² (verificada por corrosão por KOH).
· Qualidade da superfície: polida por CMP até Ra <0,5 nm, atendendo aos requisitos de planura de grau litográfico EUV.
Principais aplicações
Domínio | Cenários de Aplicação | Vantagens técnicas |
Comunicações Ópticas | Lasers DWDM 100G/400G, módulos híbridos de fotônica de silício | A ampla transmissão espectral e a baixa perda de guia de onda (α < 0,1 dB/cm) do wafer LiTaO3 permitem a expansão da banda C. |
Comunicações 5G/6G | Filtros SAW (1,8–3,5 GHz), filtros BAW-SMR | Os wafers de corte Y de 42° alcançam Kt² >15%, proporcionando baixa perda de inserção (<1,5 dB) e alta redução (>30 dB). |
Tecnologias Quânticas | Detectores de fóton único, fontes de conversão paramétrica | Alto coeficiente não linear (χ(2)=40 pm/V) e baixa taxa de contagem escura (<100 contagens/s) aumentam a fidelidade quântica. |
Sensoriamento Industrial | Sensores de pressão de alta temperatura, transformadores de corrente | A resposta piezoelétrica do wafer LiTaO3 (g33 >20 mV/m) e a tolerância a altas temperaturas (>400°C) são adequadas para ambientes extremos. |
Serviços XKH
1. Fabricação de wafers personalizados
· Tamanho e corte: wafers de 2 a 8 polegadas com corte X/Y/Z, corte Y de 42° e cortes angulares personalizados (tolerância de ±0,01°).
· Controle de dopagem: dopagem de Fe, Mg pelo método de Czochralski (faixa de concentração 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) para otimizar os coeficientes eletro-ópticos e a estabilidade térmica.
2. Tecnologias de Processo Avançadas
· Poling periódico (PPLT): tecnologia Smart-Cut para wafers LTOI, alcançando precisão de período de domínio de ±10 nm e conversão de frequência quase-fase-correspondente (QPM).
· Integração heterogênea: wafers compostos de LiTaO3 à base de Si (POI) com controle de espessura (300–600 nm) e condutividade térmica de até 8,78 W/m·K para filtros SAW de alta frequência.
3.Sistemas de Gestão da Qualidade
· Testes de ponta a ponta: espectroscopia Raman (verificação de politipo), XRD (cristalinidade), AFM (morfologia de superfície) e testes de uniformidade óptica (Δn <5×10⁻⁵).
4. Suporte à cadeia de suprimentos global
· Capacidade de produção: Produção mensal >5.000 wafers (8 polegadas: 70%), com entrega emergencial em 48 horas.
· Rede logística: Cobertura na Europa, América do Norte e Ásia-Pacífico via frete aéreo/marítimo com embalagem com temperatura controlada.


