Cristal de tantalato de lítio LT (LiTaO3) 2 polegadas/3 polegadas/4 polegadas/6 polegadas Orientação Y-42°/36°/108° Espessura 250-500um
Parâmetros técnicos
Nome | LiTaO3 de grau óptico | Nível da mesa de som LiTaO3 |
Axial | Corte Z + / - 0,2 ° | Corte Y 36° / Corte Y 42° / Corte X(+ / - 0,2 °) |
Diâmetro | 76,2 mm + / - 0,3 mm/100±0,2 mm | 76,2 mm + /- 0,3 mm100 mm + /- 0,3 mm ou 150 ± 0,5 mm |
Plano de referência | 22 mm + / - 2 mm | 22 mm + /-2 mm32 mm + /- 2 mm |
Grossura | 500um + /-5mm1000um + /-5mm | 500um + /-20mm350um + /-20mm |
TTV | ≤ 10um | ≤ 10um |
Temperatura de Curie | 605 °C + / - 0,7 °C (método DTA) | 605 °C + / -3 °C (método DTA |
Qualidade da superfície | Polimento de dupla face | Polimento de dupla face |
Bordas chanfradas | arredondamento de bordas | arredondamento de bordas |
Características principais
1. Estrutura Cristalina e Desempenho Elétrico
· Estabilidade cristalográfica: dominância de 100% do politipo 4H-SiC, zero inclusões multicristalinas (por exemplo, 6H/15R), com curva de oscilação XRD de largura total na metade do máximo (FWHM) ≤32,7 segundos de arco.
· Alta mobilidade de portadores: mobilidade de elétrons de 5.400 cm²/V·s (4H-SiC) e mobilidade de lacunas de 380 cm²/V·s, permitindo projetos de dispositivos de alta frequência.
·Dureza à radiação: Suporta irradiação de nêutrons de 1 MeV com um limite de dano por deslocamento de 1×10¹⁵ n/cm², ideal para aplicações aeroespaciais e nucleares.
2. Propriedades térmicas e mecânicas
· Condutividade térmica excepcional: 4,9 W/cm·K (4H-SiC), o triplo do silício, suportando operação acima de 200°C.
· Baixo coeficiente de expansão térmica: CTE de 4,0×10⁻⁶/K (25–1000°C), garantindo compatibilidade com embalagens à base de silício e minimizando o estresse térmico.
3. Controle de defeitos e precisão de processamento
· Densidade do microtubo: <0,3 cm⁻² (wafers de 8 polegadas), densidade de deslocamento <1.000 cm⁻² (verificada por corrosão por KOH).
· Qualidade da superfície: polida por CMP até Ra <0,2 nm, atendendo aos requisitos de planura de grau litográfico EUV.
Principais aplicações
Domínio | Cenários de Aplicação | Vantagens técnicas |
Comunicações Ópticas | Lasers 100G/400G, módulos híbridos de fotônica de silício | Os substratos de semente de InP permitem banda proibida direta (1,34 eV) e heteroepitaxia baseada em Si, reduzindo a perda de acoplamento óptico. |
Veículos de Nova Energia | Inversores de alta tensão de 800 V, carregadores de bordo (OBC) | Substratos 4H-SiC suportam >1.200 V, reduzindo as perdas de condução em 50% e o volume do sistema em 40%. |
Comunicações 5G | Dispositivos de RF de ondas milimétricas (PA/LNA), amplificadores de potência de estação base | Substratos de SiC semi-isolantes (resistividade >10⁵ Ω·cm) permitem integração passiva de alta frequência (60 GHz+). |
Equipamentos Industriais | Sensores de alta temperatura, transformadores de corrente, monitores de reatores nucleares | Substratos de semente InSb (banda proibida de 0,17 eV) oferecem sensibilidade magnética de até 300% a 10 T. |
Wafers de LiTaO₃ - Principais Características
1. Desempenho piezoelétrico superior
· Altos coeficientes piezoelétricos (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0,5%) permitem dispositivos SAW/BAW de alta frequência com perda de inserção <1,5dB para filtros RF 5G
· Excelente acoplamento eletromecânico que suporta projetos de filtros de ampla largura de banda (≥5%) para aplicações sub-6GHz e mmWave
2. Propriedades ópticas
· Transparência de banda larga (>70% de transmissão de 400-5000 nm) para moduladores eletro-ópticos que atingem largura de banda >40 GHz
· A forte suscetibilidade óptica não linear (χ⁽²⁾~30pm/V) facilita a geração eficiente de segundo harmônico (SHG) em sistemas de laser
3. Estabilidade Ambiental
· A alta temperatura de Curie (600°C) mantém a resposta piezoelétrica em ambientes de nível automotivo (-40°C a 150°C)
· A inércia química contra ácidos/álcalis (pH1-13) garante confiabilidade em aplicações de sensores industriais
4. Capacidades de personalização
· Engenharia de orientação: corte X (51°), corte Y (0°), corte Z (36°) para respostas piezoelétricas personalizadas
· Opções de dopagem: dopado com Mg (resistência a danos ópticos), dopado com Zn (d₃₃ aprimorado)
· Acabamentos de superfície: polimento epitaxial (Ra<0,5 nm), metalização ITO/Au
Wafers de LiTaO₃ - Aplicações Primárias
1. Módulos frontais de RF
· Filtros SAW 5G NR (Banda n77/n79) com coeficiente de temperatura de frequência (TCF) <|-15ppm/°C|
· Ressonadores BAW de banda ultralarga para WiFi 6E/7 (5,925-7,125 GHz)
2. Fotônica Integrada
· Moduladores Mach-Zehnder de alta velocidade (>100Gbps) para comunicações ópticas coerentes
· Detectores infravermelhos QWIP com comprimentos de onda de corte ajustáveis de 3-14μm
3. Eletrônica automotiva
· Sensores de estacionamento ultrassônicos com frequência operacional >200kHz
· Transdutores piezoelétricos TPMS que sobrevivem a ciclos térmicos de -40°C a 125°C
4. Sistemas de Defesa
· Filtros de receptor EW com rejeição fora de banda >60dB
· Janelas de infravermelho do buscador de mísseis transmitindo radiação MWIR de 3-5μm
5. Tecnologias emergentes
· Transdutores quânticos optomecânicos para conversão de micro-ondas para óptica
· Matrizes PMUT para imagens de ultrassom médico (resolução >20MHz)
Wafers de LiTaO₃ - Serviços XKH
1. Gestão da Cadeia de Suprimentos
· Processamento de boule para wafer com prazo de entrega de 4 semanas para especificações padrão
· Produção com custo otimizado, proporcionando vantagem de preço de 10-15% em relação aos concorrentes
2. Soluções personalizadas
· Wafering específico para orientação: corte em Y de 36°±0,5° para desempenho SAW ideal
· Composições dopadas: dopagem de MgO (5 mol%) para aplicações ópticas
Serviços de metalização: padronização de eletrodos Cr/Au (100/1000Å)
3. Suporte técnico
· Caracterização do material: curvas de oscilação XRD (FWHM<0,01°), análise de superfície AFM
· Simulação de dispositivos: modelagem FEM para otimização do projeto do filtro SAW
Conclusão
Os wafers de LiTaO₃ continuam a possibilitar avanços tecnológicos em comunicações de RF, fotônica integrada e sensores para ambientes adversos. A expertise em materiais, a precisão de fabricação e o suporte de engenharia de aplicação da XKH ajudam os clientes a superar os desafios de design em sistemas eletrônicos de última geração.


