Cristal de tantalato de lítio (LiTaO3) LT, 2 polegadas/3 polegadas/4 polegadas/6 polegadas, orientação Y-42°/36°/108°, espessura 250-500 µm.
Parâmetros técnicos
| Nome | LiTaO3 de grau óptico | Nível da mesa acústica LiTaO3 |
| Axial | Corte Z +/- 0,2° | Corte em Y de 36° / Corte em Y de 42° / Corte em X(+ / - 0,2 °) |
| Diâmetro | 76,2 mm +/- 0,3 mm/100±0,2mm | 76,2 mm +/- 0,3 mm100 mm +/- 0,3 mm ou 150 ± 0,5 mm |
| Plano de referência | 22 mm +/- 2 mm | 22 mm +/- 2 mm32 mm +/- 2 mm |
| Grossura | 500 µm +/- 5 mm1000 µm +/- 5 mm | 500 µm +/- 20 mm350 µm +/- 20 mm |
| TTV | ≤ 10 µm | ≤ 10 µm |
| Temperatura de Curie | 605 °C + / - 0,7 °C (método DTA) | 605 °C + / -3 °C (método DTA) |
| Qualidade da superfície | Polimento de dupla face | Polimento de dupla face |
| Bordas chanfradas | arredondamento de borda | arredondamento de borda |
Principais características
1. Estrutura cristalina e desempenho elétrico
• Estabilidade cristalográfica: predominância de 100% do politipo 4H-SiC, ausência de inclusões multicristalinas (ex.: 6H/15R), com largura total à meia altura (FWHM) da curva de oscilação de difração de raios X ≤ 32,7 segundos de arco.
• Alta mobilidade de portadores: Mobilidade de elétrons de 5.400 cm²/V·s (4H-SiC) e mobilidade de lacunas de 380 cm²/V·s, possibilitando projetos de dispositivos de alta frequência.
• Resistência à radiação: Suporta irradiação de nêutrons de 1 MeV com um limite de dano por deslocamento de 1×10¹⁵ n/cm², ideal para aplicações aeroespaciais e nucleares.
2. Propriedades Térmicas e Mecânicas
• Condutividade térmica excepcional: 4,9 W/cm·K (4H-SiC), o triplo da do silício, permitindo operação acima de 200 °C.
• Baixo coeficiente de expansão térmica: CTE de 4,0×10⁻⁶/K (25–1000°C), garantindo compatibilidade com embalagens à base de silício e minimizando o estresse térmico.
3. Controle de defeitos e precisão de processamento
• Densidade de microporos: <0,3 cm⁻² (wafers de 8 polegadas), densidade de deslocamento <1.000 cm⁻² (verificada por meio de ataque com KOH).
• Qualidade da superfície: Polida por CMP com Ra <0,2 nm, atendendo aos requisitos de planicidade de nível de litografia EUV.
Principais aplicações
| Domínio | Cenários de aplicação | Vantagens técnicas |
| Comunicações Ópticas | Lasers de 100G/400G, módulos híbridos de fotônica de silício | Os substratos de semente de InP permitem heteroepitaxia direta baseada em Si e com gap de banda (1,34 eV), reduzindo a perda de acoplamento óptico. |
| Veículos de Nova Energia | Inversores de alta tensão de 800V, carregadores de bordo (OBC) | Os substratos de 4H-SiC suportam tensões superiores a 1.200 V, reduzindo as perdas por condução em 50% e o volume do sistema em 40%. |
| Comunicações 5G | Dispositivos de radiofrequência de ondas milimétricas (PA/LNA), amplificadores de potência para estações base | Substratos de SiC semi-isolantes (resistividade >10⁵ Ω·cm) permitem a integração passiva em alta frequência (acima de 60 GHz). |
| Equipamentos Industriais | Sensores de alta temperatura, transformadores de corrente, monitores de reatores nucleares | Substratos de semente de InSb (bandgap de 0,17 eV) proporcionam sensibilidade magnética de até 300% a 10 T. |
Pastilhas de LiTaO₃ - Principais características
1. Desempenho piezoelétrico superior
• Altos coeficientes piezoelétricos (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0,5%) permitem dispositivos SAW/BAW de alta frequência com perda de inserção <1,5dB para filtros de RF 5G.
• O excelente acoplamento eletromecânico permite o desenvolvimento de filtros de banda larga (≥5%) para aplicações em sub-6GHz e ondas milimétricas.
2. Propriedades Ópticas
• Transparência de banda larga (>70% de transmissão de 400 a 5000 nm) para moduladores eletro-ópticos com largura de banda superior a 40 GHz
• A forte susceptibilidade óptica não linear (χ⁽²⁾~30pm/V) facilita a geração eficiente de segundo harmônico (SHG) em sistemas laser.
3. Estabilidade Ambiental
• A alta temperatura de Curie (600 °C) mantém a resposta piezoelétrica em ambientes de grau automotivo (de -40 °C a 150 °C).
• A inércia química frente a ácidos/álcalis (pH 1-13) garante confiabilidade em aplicações de sensores industriais.
4. Capacidades de personalização
• Engenharia de orientação: corte X (51°), corte Y (0°), corte Z (36°) para respostas piezoelétricas personalizadas
• Opções de dopagem: dopado com Mg (resistência a danos ópticos), dopado com Zn (aumento do d₃₃)
• Acabamentos de superfície: Polimento pronto para epitaxia (Ra<0,5nm), metalização ITO/Au
Pastilhas de LiTaO₃ - Principais Aplicações
1. Módulos front-end de RF
• Filtros SAW 5G NR (Banda n77/n79) com coeficiente de temperatura de frequência (TCF) <|-15ppm/°C|
• Ressonadores BAW de banda ultralarga para WiFi 6E/7 (5,925-7,125 GHz)
2. Fotônica Integrada
• Moduladores Mach-Zehnder de alta velocidade (>100 Gbps) para comunicações ópticas coerentes
• Detectores infravermelhos QWIP com comprimentos de onda de corte ajustáveis de 3 a 14 μm
3. Eletrônica Automotiva
• Sensores de estacionamento ultrassônicos com frequência operacional superior a 200 kHz
• Transdutores piezoelétricos TPMS que resistem a ciclos térmicos de -40 °C a 125 °C
4. Sistemas de Defesa
• Filtros receptores EW com rejeição fora da banda superior a 60 dB
• Janelas de infravermelho do buscador de mísseis que transmitem radiação MWIR de 3 a 5 μm
5. Tecnologias emergentes
• Transdutores quânticos optomecânicos para conversão de micro-ondas em sinal óptico
• Matrizes PMUT para imagens de ultrassom médico (resolução >20MHz)
Wafer de LiTaO₃ - Serviços XKH
1. Gestão da Cadeia de Suprimentos
• Processamento de boule para wafer com prazo de entrega de 4 semanas para especificações padrão
• Produção com custos otimizados, proporcionando uma vantagem de preço de 10 a 15% em relação aos concorrentes.
2. Soluções Personalizadas
• Corte de wafers com orientação específica: corte em Y de 36° ± 0,5° para desempenho ideal de SAW
• Composições dopadas: dopagem com MgO (5 mol%) para aplicações ópticas
Serviços de metalização: padronização de eletrodos Cr/Au (100/1000Å)
3. Suporte Técnico
• Caracterização do material: curvas de oscilação de difração de raios X (FWHM < 0,01°), análise de superfície por AFM
• Simulação de dispositivos: Modelagem por elementos finitos para otimização do projeto de filtros SAW
Conclusão
Os wafers de LiTaO₃ continuam a impulsionar avanços tecnológicos em comunicações de radiofrequência, fotônica integrada e sensores para ambientes extremos. A expertise da XKH em materiais, a precisão de fabricação e o suporte de engenharia de aplicações ajudam os clientes a superar os desafios de projeto em sistemas eletrônicos de última geração.









