Substrato de safira padronizado PSS 2 polegadas 4 polegadas 6 polegadas ICP a gravação a seco pode ser usada para chips de LED
Característica principal
1. Características do material: O material do substrato é uma safira monocristalina (Al₂O₃), com alta dureza, alta resistência ao calor e estabilidade química.
2. Estrutura da superfície: A superfície é formada por fotolitografia e gravação em micro-nanoestruturas periódicas, como cones, pirâmides ou matrizes hexagonais.
3. Desempenho óptico: por meio do design de padronização de superfície, a reflexão total da luz na interface é reduzida e a eficiência de extração de luz é melhorada.
4. Desempenho térmico: o substrato de safira tem excelente condutividade térmica, adequado para aplicações de LED de alta potência.
5. Especificações de tamanho: os tamanhos comuns são 2 polegadas (50,8 mm), 4 polegadas (100 mm) e 6 polegadas (150 mm).
Principais áreas de aplicação
1. Fabricação de LED:
Melhor eficiência na extração de luz: o PSS reduz a perda de luz por meio de design padronizado, melhorando significativamente o brilho e a eficiência luminosa do LED.
Qualidade de crescimento epitaxial aprimorada: a estrutura padronizada fornece uma melhor base de crescimento para camadas epitaxiais de GaN e melhora o desempenho do LED.
2. Diodo Laser (LD):
Lasers de alta potência: A alta condutividade térmica e estabilidade do PSS são adequadas para diodos laser de alta potência, melhorando o desempenho e a confiabilidade da dissipação de calor.
Corrente de limiar baixo: otimiza o crescimento epitaxial, reduz a corrente de limiar do diodo laser e melhora a eficiência.
3. Fotodetector:
Alta sensibilidade: A alta transmissão de luz e a baixa densidade de defeitos do PSS melhoram a sensibilidade e a velocidade de resposta do fotodetector.
Ampla resposta espectral: adequada para detecção fotoelétrica na faixa ultravioleta ao visível.
4. Eletrônica de potência:
Resistência a alta tensão: o alto isolamento e a estabilidade térmica da Sapphire são adequados para dispositivos de alta tensão.
Dissipação de calor eficiente: a alta condutividade térmica melhora o desempenho de dissipação de calor dos dispositivos de energia e prolonga a vida útil.
5. Dispositivos de RF:
Desempenho de alta frequência: A baixa perda dielétrica e a alta estabilidade térmica do PSS são adequadas para dispositivos de RF de alta frequência.
Baixo ruído: alta planura e baixa densidade de defeitos reduzem o ruído do dispositivo e melhoram a qualidade do sinal.
6. Biossensores:
Detecção de alta sensibilidade: A alta transmissão de luz e a estabilidade química do PSS são adequadas para biossensores de alta sensibilidade.
Biocompatibilidade: A biocompatibilidade da safira a torna adequada para aplicações médicas e de biodetecção.
Substrato de safira padronizado (PSS) com material epitaxial GaN:
O substrato de safira padronizado (PSS) é um substrato ideal para o crescimento epitaxial de GaN (nitreto de gálio). A constante de rede da safira é próxima à do GaN, o que pode reduzir incompatibilidades de rede e defeitos no crescimento epitaxial. A micro-nanoestrutura da superfície do PSS não só melhora a eficiência da extração de luz, como também a qualidade cristalina da camada epitaxial de GaN, melhorando assim o desempenho e a confiabilidade do LED.
Parâmetros técnicos
| Item | Substrato de safira estampado (2 a 6 polegadas) | ||
| Diâmetro | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Grossura | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Orientação da superfície | Plano C (0001) fora do ângulo em direção ao eixo M (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| Plano C (0001) fora do ângulo em direção ao eixo A (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Orientação plana primária | Plano A (11-20) ± 1,0° | ||
| Comprimento plano primário | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| Plano R | 9 horas | ||
| Acabamento da superfície frontal | Padronizado | ||
| Acabamento da superfície traseira | SSP: finamente moído, Ra = 0,8-1,2 µm; DSP: epipolido, Ra < 0,3 nm | ||
| Marca a laser | Lado de trás | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| ARCO | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| URDIDURA | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Exclusão de Borda | ≤2 mm | ||
| Especificação de Padrão | Estrutura da forma | Cúpula, Cone, Pirâmide | |
| Altura do padrão | 1,6~1,8μm | ||
| Diâmetro do padrão | 2,75~2,85μm | ||
| Espaço de padrões | 0,1~0,3μm | ||
A XKH é especializada no fornecimento de substratos de safira padronizados (PSS) personalizados de alta qualidade, com suporte técnico e serviço pós-venda para ajudar os clientes a obter inovação eficiente na área de LED, displays e optoeletrônica.
1. Fornecimento de PSS de alta qualidade: substratos de safira padronizados em uma variedade de tamanhos (2", 4", 6") para atender às necessidades de LED, displays e dispositivos optoeletrônicos.
2. Design personalizado: personalize a micro-nanoestrutura da superfície (como cone, pirâmide ou matriz hexagonal) de acordo com as necessidades do cliente para otimizar a eficiência de extração de luz.
3. Suporte técnico: Fornecer design de aplicativos PSS, otimização de processos e consultoria técnica para ajudar os clientes a melhorar o desempenho do produto.
4. Suporte ao crescimento epitaxial: PSS combinado com material epitaxial GaN é fornecido para garantir o crescimento da camada epitaxial de alta qualidade.
5. Testes e certificação: Fornecer relatório de inspeção de qualidade PSS para garantir que os produtos atendam aos padrões da indústria.
Diagrama Detalhado
