Substrato de safira padronizado PSS 2 polegadas 4 polegadas ICP A gravação seca pode ser usada para chips LED
Característica central
1. Características do material: O material do substrato é uma safira de cristal única (Al₂o₃), com alta dureza, alta resistência ao calor e estabilidade química.
2. Estrutura da superfície: A superfície é formada por fotolitografia e gravura em estruturas micro-nano-nano periódicas, como cones, pirâmides ou matrizes hexagonais.
3. Desempenho óptico: através do projeto de padronização da superfície, a reflexão total da luz na interface é reduzida e a eficiência da extração de luz é melhorada.
4. Desempenho térmico: o substrato de safira possui excelente condutividade térmica, adequada para aplicações de alta energia LED.
5. Especificações de tamanho: Os tamanhos comuns são de 50,8 mm), 4 polegadas (100 mm) e 150 mm).
Principais áreas de aplicação
1. Fabricação LED:
Eficiência de extração de luz aprimorada: o PSS reduz a perda de luz através do design de padrões, melhorando significativamente o brilho LED e a eficiência luminosa.
Qualidade de crescimento epitaxial aprimorado: a estrutura padronizada fornece uma melhor base de crescimento para camadas epitaxiais de GaN e melhora o desempenho do LED.
2. Diodo a laser (LD):
Lasers de alta potência: A alta condutividade térmica e a estabilidade dos PSs são adequadas para diodos a laser de alta potência, melhorando o desempenho e a confiabilidade da dissipação de calor.
Corrente de baixo limiar: otimize o crescimento epitaxial, reduza a corrente limiar do diodo do laser e melhore a eficiência.
3. Fotodetector:
Alta sensibilidade: a alta transmissão da luz e a baixa densidade de defeitos do PSS melhoram a sensibilidade e a velocidade de resposta do fotodetector.
Resposta espectral ampla: Adequado para detecção fotoelétrica na faixa ultravioleta a visível.
4. Eletrônica de potência:
Resistência a alta tensão: A alta estabilidade e estabilidade térmica da safira são adequadas para dispositivos de alta tensão.
Dissipação de calor eficiente: A alta condutividade térmica melhora o desempenho de dissipação de calor dos dispositivos de potência e prolonga a vida útil do serviço.
5. Dispositivos de RF:
Desempenho de alta frequência: a baixa perda dielétrica e a alta estabilidade térmica do PSS são adequadas para dispositivos de RF de alta frequência.
Baixo ruído: a alta densidade de defeito de alta nivelamento e baixa redução de densidade reduz o ruído do dispositivo e melhore a qualidade do sinal.
6. Biossensores:
Detecção de alta sensibilidade: a alta transmissão de luz e a estabilidade química do PSS são adequadas para biossensores de alta sensibilidade.
Biocompatibilidade: A biocompatibilidade da safira o torna adequado para aplicações médicas e de biodetecção.
Substrato de safira estampada (PSS) com material epitaxial GaN:
O substrato de safira padronizado (PSS) é um substrato ideal para o crescimento epitaxial de GaN (nitreto de gálio). A constante de treliça de safira está próxima de GaN, que pode reduzir as incompatibilidades e defeitos da treliça no crescimento epitaxial. A estrutura micro-nano da superfície do PSS não apenas melhora a eficiência da extração de luz, mas também melhora a qualidade do cristal da camada epitaxial GaN, melhorando assim o desempenho e a confiabilidade do LED.
Parâmetros técnicos
Item | Substrato de safira estampada (2 ~ 6 polegadas) | ||
Diâmetro | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
Grossura | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
Orientação da superfície | Plano C (0001)-ângulo fora do eixo M (10-10) 0,2 ± 0,1 ° | ||
Plano C (0001)-ângulo fora do eixo A (11-20) 0 ± 0,1 ° | |||
Orientação plana primária | Plano A (11-20) ± 1,0 ° | ||
Comprimento plano primário | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
Plano R. | 9-O'Clock | ||
Acabamento da superfície frontal | Padronizado | ||
Acabamento da superfície traseira | SSP: Fine-Tround, RA = 0,8-1.2um; DSP: EPI-polido, RA <0,3nm | ||
Marca a laser | Traseiro | ||
TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
ARCO | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
URDIDURA | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
Exclusão de borda | ≤2 mm | ||
Especificação de padrões | Estrutura de forma | Cúpula, cone, pirâmide | |
Altura do padrão | 1,6 ~ 1,8μm | ||
Diâmetro do padrão | 2,75 ~ 2,85μm | ||
Espaço de padrão | 0,1 ~ 0,3μm |
O XKH é especializado em fornecer substratos de safira padronizados de alta qualidade e padronizados (PSS) com suporte técnico e serviço pós-venda para ajudar os clientes a obter inovação eficiente no campo de LED, exibição e optoeletrônica.
1. Fornecimento de PSS de alta qualidade: substratos de safira padronizados em vários tamanhos (2 ", 4", 6 ") para atender às necessidades dos dispositivos LED, exibição e optoeletrônica.
2. Design personalizado: personalize a estrutura de micro-nano de superfície (como cone, pirâmide ou matriz hexagonal) de acordo com o cliente precisa otimizar a eficiência da extração de luz.
3. Suporte técnico: Forneça design de aplicativos PSS, otimização de processos e consulta técnica para ajudar os clientes a melhorar o desempenho do produto.
4. Suporte de crescimento epitaxial: PSS combinado com o material epitaxial de GaN é fornecido para garantir o crescimento da camada epitaxial de alta qualidade.
5. Teste e certificação: Forneça um relatório de inspeção de qualidade do PSS para garantir que os produtos atendam aos padrões do setor.
Diagrama detalhado


