Pinos de elevação de safira premium Pino de elevação de wafer de cristal único Al₂O₃
Parâmetros técnicos
| Composição química | Al2O3 |
| Dureza | 9Mohs |
| Natureza óptica | Uniaxial |
| Índice de refração | 1.762-1.770 |
| Birrefringência | 0,008-0,010 |
| Dispersão | Baixo, 0,018 |
| Brilho | Vítreo |
| Pleocroísmo | Moderado a Forte |
| Diâmetro | 0,4 mm-30 mm |
| Tolerância de diâmetro | 0,004 mm-0,05 mm |
| comprimento | 2 mm-150 mm |
| tolerância de comprimento | 0,03 mm-0,25 mm |
| Qualidade da superfície | 40/20 |
| Redondeza da superfície | RZ0,05 |
| Formato personalizado | ambas as extremidades planas, uma extremidade redius, ambas as extremidades redius, pinos de sela e formas especiais |
Principais características
1. Dureza e Resistência ao Desgaste Excepcionais: Com uma dureza Mohs de 9, superada apenas pelo diamante, os Pinos de Elevação de Safira apresentam características de desgaste que superam significativamente as alternativas tradicionais de carboneto de silício, cerâmica de alumina ou ligas metálicas. Essa dureza extrema se traduz em geração de partículas significativamente reduzida e requisitos de manutenção reduzidos, com vida útil tipicamente 3 a 5 vezes maior do que os materiais convencionais em aplicações comparáveis.
2. Resistência Superior a Altas Temperaturas: Projetados para suportar operação contínua em temperaturas superiores a 1000 °C sem degradação, os Pinos de Elevação Sapphire mantêm a estabilidade dimensional e a resistência mecânica nos processos térmicos mais exigentes. Isso os torna particularmente valiosos para aplicações críticas, como deposição química de vapor (CVD), deposição química de vapor metal-orgânico (MOCVD) e sistemas de recozimento de alta temperatura, onde a incompatibilidade de expansão térmica pode comprometer o rendimento do processo.
3. Inércia Química: A estrutura monocristalina de safira demonstra notável resistência ao ataque de ácido HF, produtos químicos à base de cloro e outros gases de processo agressivos comumente encontrados na fabricação de semicondutores. Essa estabilidade química garante um desempenho consistente em ambientes de plasma e previne a formação de defeitos superficiais que podem levar à contaminação do wafer.
4. Baixa Contaminação de Partículas: Fabricados com cristais de safira de alta pureza e sem defeitos (tipicamente >99,99%), esses pinos de elevação apresentam mínima liberação de partículas, mesmo após uso prolongado. Sua estrutura de superfície não porosa e acabamento polido atendem aos mais rigorosos requisitos de salas limpas, contribuindo diretamente para a melhoria da produtividade do processo na fabricação de semicondutores para nós avançados.
Usinagem de alta precisão: Utilizando técnicas avançadas de retificação de diamante e processamento a laser, os pinos de elevação Sapphire podem ser produzidos com tolerâncias submicrométricas e acabamentos superficiais abaixo de 0,05 μm Ra. Geometrias personalizadas, incluindo perfis cônicos, configurações especiais de ponta e recursos de alinhamento integrados, podem ser projetadas para atender aos desafios específicos de manuseio de wafers em equipamentos de fabricação de última geração.
Aplicações primárias
1. Fabricação de Semicondutores: Os Pinos de Elevação de Safira desempenham um papel fundamental em sistemas avançados de processamento de wafers, fornecendo suporte confiável e posicionamento preciso durante processos de fotolitografia, corrosão, deposição e inspeção. Sua estabilidade térmica e química os torna particularmente valiosos em ferramentas de litografia EUV e aplicações avançadas de embalagem, onde a estabilidade dimensional em escalas nanométricas é essencial.
2. Epitaxia de LED (MOCVD): Em sistemas de crescimento epitaxial de nitreto de gálio (GaN) e semicondutores compostos relacionados, os pinos de elevação de safira fornecem suporte estável para wafers em temperaturas frequentemente superiores a 1000 °C. Suas características de expansão térmica combinadas com substratos de safira minimizam a curvatura e a formação de deslizamentos dos wafers durante o processo de crescimento epitaxial.
3. Indústria Fotovoltaica: A fabricação de células solares de alta eficiência se beneficia das propriedades únicas da safira em processos de difusão em alta temperatura, sinterização e deposição de filmes finos. A resistência ao desgaste dos pinos é particularmente valiosa em ambientes de produção em massa, onde a longevidade dos componentes impacta diretamente os custos de fabricação.
4. Processamento de Óptica e Eletrônica de Precisão: Além das aplicações em semicondutores, os Pinos de Elevação de Safira são utilizados no manuseio de componentes ópticos delicados, dispositivos MEMS e substratos especiais, onde o processamento sem contaminação e a prevenção de arranhões são essenciais. Suas propriedades de isolamento elétrico os tornam ideais para aplicações que envolvem dispositivos sensíveis à eletrostática.
Serviços da XKH para pinos de elevação de safira
A XKH fornece suporte técnico abrangente e soluções personalizadas para pinos de elevação de safira:
1. Serviços de Desenvolvimento Personalizado
· Suporte para personalização dimensional, geométrica e de tratamento de superfície
· Recomendações de seleção de materiais e otimização de parâmetros técnicos
· Projeto colaborativo de produtos e verificação de simulação
2. Capacidades de fabricação de precisão
· Usinagem de alta precisão com tolerâncias controladas em ±1μm
· Tratamentos especiais, incluindo polimento de espelho e chanfradura de bordas
· Soluções opcionais de modificação de superfície, como revestimentos antiaderentes
3. Sistema de Garantia de Qualidade
· Implementação rigorosa da inspeção de materiais recebidos e do controle de processos
· Inspeção óptica dimensional completa e análise da morfologia da superfície
· Fornecimento de relatórios de testes de desempenho de produtos
4. Serviços de Cadeia de Suprimentos
· Entrega rápida de produtos padrão
· Gestão de estoque dedicada para contas-chave
5. Suporte Técnico
· Consultoria de soluções de aplicação
· Resposta rápida pós-venda
Estamos comprometidos em fornecer produtos de pinos de elevação de safira de alta qualidade e serviços técnicos profissionais para atender aos rigorosos requisitos das indústrias de semicondutores, LED e outras indústrias avançadas.
