Placa de cerâmica Sic
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Placa cerâmica de carbeto de silício (SiC)
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Bandeja de cerâmica SiC para suporte de wafer com alta resistência à temperatura.
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Bandeja de cerâmica de carboneto de silício – Bandejas duráveis e de alto desempenho para aplicações térmicas e químicas.
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Bandeja/placa de cerâmica SiC para suporte de wafers de 4 e 6 polegadas para ICP
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Braço de manuseio com atuador final em cerâmica SiC para transporte de wafers