Placa de bandeja de cerâmica SiC grafite com revestimento CVD SiC para equipamentos

Placa de bandeja cerâmica SiC grafite com revestimento CVD SiC para equipamentos Imagem em destaque

Breve descrição:

produz disco de gravação semicondutor de Φ380mm – Φ600mm, disco de rolamento wafer, bandeja de carboneto de silício, bandeja SIC, bandeja de carboneto de silício, bandeja de gravação ICP, bandeja de gravação, pureza de carboneto de silício> 99,9%, vida útil da bandeja SIC é quatro vezes maior que a bandeja CVD à base de grafite, uso a longo prazo sem deformação, resistente ao ácido FH, corrosão concentrada de H2So4.

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As cerâmicas de carboneto de silício não são usadas apenas na etapa de deposição de filmes finos, como epitaxia ou MOCVD, ou no processamento de wafer, no centro do qual as bandejas de suporte de wafer para MOCVD são primeiro submetidas ao ambiente de deposição e, portanto, são altamente resistentes a calor e corrosão. Os transportadores revestidos com SiC também possuem alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição térmica.

Portadores de wafer de carboneto de silício de deposição de vapor químico puro (CVD SiC) para processamento de deposição de vapor químico orgânico de metal (MOCVD) em alta temperatura.

Os transportadores de wafer SiC CVD puros são significativamente superiores aos transportadores de wafer convencionais usados neste processo, que são de grafite e revestidos com uma camada de SiC CVD. esses transportadores revestidos à base de grafite não podem suportar as altas temperaturas (1100 a 1200 graus Celsius) necessárias para a deposição de GaN dos atuais LEDs azuis e brancos de alto brilho. As altas temperaturas fazem com que o revestimento desenvolva pequenos orifícios através dos quais os produtos químicos do processo corroem o grafite abaixo. As partículas de grafite então se descamam e contaminam o GaN, fazendo com que o suporte do wafer revestido seja substituído.

CVD SiC tem pureza de 99,999% ou mais e possui alta condutividade térmica e resistência ao choque térmico. Portanto, ele pode suportar altas temperaturas e ambientes agressivos de fabricação de LED de alto brilho. É um material monolítico sólido que atinge a densidade teórica, produz partículas mínimas e apresenta uma resistência muito elevada à corrosão e à erosão. O material pode alterar a opacidade e a condutividade sem introduzir impurezas metálicas. Os transportadores de wafer têm normalmente 17 polegadas de diâmetro e podem conter até 40 wafers de 2 a 4 polegadas.