Sugador de bandeja de cerâmica de carboneto de silício, fornecimento de tubo de cerâmica de carboneto de silício, sinterização de alta temperatura, processamento personalizado
Principais características:
1. Bandeja de cerâmica de carboneto de silício
- Alta dureza e resistência ao desgaste: a dureza é próxima à do diamante e pode suportar o desgaste mecânico no processamento de wafers por um longo tempo.
- Alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica: rápida dissipação de calor e estabilidade dimensional, evitando deformações causadas por estresse térmico.
- Alta planicidade e acabamento superficial: A planicidade da superfície chega ao nível de mícron, garantindo contato total entre o wafer e o disco, reduzindo contaminação e danos.
Estabilidade química: Forte resistência à corrosão, adequado para processos de limpeza úmida e gravação na fabricação de semicondutores.
2. Tubo cerâmico de carboneto de silício
- Resistência a altas temperaturas: pode trabalhar em ambientes de alta temperatura acima de 1600°C por um longo período, adequado para processos de alta temperatura de semicondutores.
Excelente resistência à corrosão: resistente a ácidos, álcalis e uma variedade de solventes químicos, adequado para ambientes de processo agressivos.
- Alta dureza e resistência ao desgaste: resiste à erosão de partículas e ao desgaste mecânico, prolonga a vida útil.
- Alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica: rápida condução de calor e estabilidade dimensional, reduzindo deformações ou fissuras causadas por tensões térmicas.
Parâmetro do produto:
Parâmetro da bandeja de cerâmica de carboneto de silício:
| (Propriedade material) | (Unidade) | (ssic) | |
| (conteúdo de SiC) | (peso)% | >99 | |
| (Tamanho médio do grão) | mícron | 4-10 | |
| (Densidade) | kg/dm3 | >3,14 | |
| (Porosidade aparente) | Vo1% | <0,5 | |
| (Dureza Vickers) | HV 0,5 | GPa | 28 |
| *() Resistência à flexão* (três pontos) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Resistência à compressão) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Módulo de elasticidade) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Resistência à fratura) | MPa/m'% | 3,5 | |
| (Condutividade térmica) | 20°C | W/(m*K) | 160 |
| (Resistividade) | 20°C | Ohm.cm | 106-108 |
(Coeficiente de expansão térmica) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Temperatura máxima de operação) | oºC | 1700 | |
Parâmetro do tubo cerâmico de carboneto de silício:
| Unid | Índice |
| α-SIC | 99% mínimo |
| Porosidade aparente | 16% máximo |
| Densidade aparente | 2,7g/cm3 min |
| Resistência à flexão em alta temperatura | 100 Mpa mínimo |
| Coeficiente de Expansão Térmica | K-1 4,7x10 -6 |
| Coeficiente de Condutividade Térmica (1400ºC) | 24 W/m³ |
| Temperatura máxima de trabalho | 1650ºC |
Principais aplicações:
1. Placa de cerâmica de carboneto de silício
- Corte e polimento de wafers: serve como plataforma de apoio para garantir alta precisão e estabilidade durante o corte e o polimento.
- Processo de litografia: A pastilha é fixada na máquina de litografia para garantir um posicionamento de alta precisão durante a exposição.
- Polimento Químico-Mecânico (CMP): atua como uma plataforma de suporte para almofadas de polimento, proporcionando distribuição uniforme de pressão e calor.
2. Tubo cerâmico de carboneto de silício
- Tubo de forno de alta temperatura: usado para equipamentos de alta temperatura, como forno de difusão e forno de oxidação, para transportar wafers para tratamento de processo de alta temperatura.
- Processo CVD/PVD: Como tubo de apoio na câmara de reação, resistente a altas temperaturas e gases corrosivos.
- Acessórios para equipamentos semicondutores: para trocadores de calor, gasodutos, etc., para melhorar a eficiência do gerenciamento térmico dos equipamentos.
A XKH oferece uma gama completa de serviços personalizados para bandejas, ventosas e tubos cerâmicos de carboneto de silício. As bandejas e ventosas de carboneto de silício da XKH podem ser personalizadas de acordo com as necessidades do cliente, com diferentes tamanhos, formas e rugosidades superficiais, além de suportar tratamentos de revestimento especiais, aumentando a resistência ao desgaste e à corrosão. Para tubos cerâmicos de carboneto de silício, a XKH pode personalizar uma variedade de diâmetros internos, externos, comprimentos e estruturas complexas (como tubos moldados ou porosos), além de fornecer polimento, revestimento antioxidante e outros processos de tratamento de superfície. A XKH garante que os clientes possam aproveitar ao máximo os benefícios de desempenho dos produtos cerâmicos de carboneto de silício para atender aos exigentes requisitos de setores de fabricação de ponta, como semicondutores, LEDs e energia fotovoltaica.
Diagrama Detalhado
