Bandeja de cerâmica de carboneto de silício Silício Tubo de cerâmica de carboneto de silício Forneça processamento personalizado de sinterização de alta temperatura

Bandeja de cerâmica de carboneto de silício otário de silício Tubo de cerâmica forneça o processamento personalizado de sinterização de alta temperatura.

Breve descrição:

A bandeja de cerâmica de carboneto de silício e os tubos de cerâmica de carboneto de silício são materiais indispensáveis de alto desempenho na fabricação de semicondutores. A bandeja de cerâmica de carboneto de silício é usada principalmente no processamento de wafer fixo e no rolamento, para garantir a estabilidade do processo de alta precisão; Os tubos de cerâmica de carboneto de silício são amplamente utilizados em tubos de forno de alta temperatura, tubos de forno de difusão e outros cenários para suportar ambientes extremos e manter o gerenciamento térmico eficiente. Ambos são baseados no carboneto de silício como material central, que se tornou um componente essencial na indústria de semicondutores devido às suas excelentes propriedades físicas e químicas.

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Detalhes do produto

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Principais recursos:

1. Bandeja de cerâmica de carboneto de silício
- Alta dureza e resistência ao desgaste: a dureza está próxima do diamante e pode suportar o desgaste mecânico no processamento de bolas por um longo tempo.
- Alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica: dissipação de calor rápida e estabilidade dimensional, evitando a deformação causada pelo estresse térmico.
- Alta planguração e acabamento da superfície: a planicidade da superfície está até o nível de mícron, garantindo contato total entre a bolacha e o disco, reduzindo a contaminação e os danos.
Estabilidade química: forte resistência à corrosão, adequada para processos de limpeza e gravura úmidos na fabricação de semicondutores.
2. Tubo de cerâmica de carboneto de silício
- Resistência à alta temperatura: pode funcionar em ambiente de alta temperatura acima de 1600 ° C por um longo tempo, adequado para o processo de alta temperatura semicondutores.
Excelente resistência à corrosão: resistente a ácidos, álcalis e uma variedade de solventes químicos, adequados para ambientes de processo severos.
- Alta dureza e resistência ao desgaste: resista à erosão das partículas e ao desgaste mecânico, prolongam a vida útil do serviço.
- Alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica: condução rápida do calor e estabilidade dimensional, reduzindo a deformação ou rachaduras causadas pelo estresse térmico.

Parâmetro do produto:

Parâmetro da bandeja de cerâmica de carboneto de silício:

(Propriedade do material)		(Unidade)	(SSIC)
(Conteúdo SiC)		(WT)%	> 99
(Tamanho médio de grão)		Micron	4-10
(Densidade)		kg/dm3	> 3.14
(Porosidade aparente)		VO1%	<0,5
(Vickers dureza)	HV 0,5	GPA	28
() Força de flexão (três pontos)	20ºC	MPA	450
(Força de compressão)	20ºC	MPA	3900
(Módulo elástico)	20ºC	GPA	420
(Resistência à fratura)		Mpa/m '%	3.5
(Condutividade térmica)	20 ° ºC	C/(M*K)	160
(Resistividade)	20 ° ºC	Ohm.cm	106-108
(Coeficiente de expansão térmica)	a (rt ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Temperatura operacional máxima)		Oºc	1700

Parâmetro de tubo de cerâmica de carboneto de silício:

Unid	Índice
α-SIC	99% min
Porosidade aparente	16% máx
Densidade a granel	2,7g/cm3 min
Resistência à flexão em alta temperatura	100 MPa min
Coeficiente de expansão térmica	K -1 4.7x10 -6
Coeficiente de condutividade térmica (1400ºC)	24 w/mk
Máx. Temperatura de trabalho	1650ºC

PRINCIPAIS APLICAÇÕES:

1. Placa de cerâmica de carboneto de silício
- Corte e polimento de bolacha: serve como uma plataforma de rolamento para garantir alta precisão e estabilidade durante o corte e o polimento.
- Processo de litografia: A bolacha é fixada na máquina de litografia para garantir o posicionamento de alta precisão durante a exposição.
- Polimento mecânico químico (CMP): atua como uma plataforma de suporte para almofadas de polimento, fornecendo pressão uniforme e distribuição de calor.
2. Tubo de cerâmica de carboneto de silício
- Tubo do forno de alta temperatura: usado para equipamentos de alta temperatura, como forno de difusão e forno de oxidação para transportar bolachas para tratamento de processo de alta temperatura.
- Processo CVD/PVD: como um tubo de rolamento na câmara de reação, resistente a altas temperaturas e gases corrosivos.
- Acessórios para equipamentos semicondutores: para trocadores de calor, gasodutos, etc., para melhorar a eficiência do gerenciamento térmico do equipamento.
O XKH oferece uma gama completa de serviços personalizados para bandejas de cerâmica de carboneto de silício, copos de sucção e tubos de cerâmica de carboneto de silício. Bandejas de cerâmica de carboneto de silício e copos de sucção, o XKH pode ser personalizado de acordo com os requisitos do cliente de diferentes tamanhos, formas e rugosidade da superfície e suportar tratamento de revestimento especial, aumentar a resistência ao desgaste e a resistência à corrosão; Para tubos de cerâmica de carboneto de silício, o XKH pode personalizar uma variedade de diâmetro interno, diâmetro externo, comprimento e estrutura complexa (como tubo em forma ou tubo poroso) e fornecer polimento, revestimento antioxidação e outros processos de tratamento de superfície. O XKH garante que os clientes possam aproveitar ao máximo os benefícios de desempenho dos produtos cerâmicos de carboneto de silício para atender aos requisitos exigentes de campos de fabricação de ponta, como semicondutores, LEDs e fotovoltaicos.