Ventosa para bandeja de cerâmica de carbeto de silício, fornecimento de tubo de cerâmica de carbeto de silício, sinterização em alta temperatura, processamento personalizado.
Principais características:
1. Bandeja de cerâmica de carbeto de silício
- Alta dureza e resistência ao desgaste: a dureza é próxima à do diamante e pode suportar o desgaste mecânico no processamento de wafers por um longo período.
- Alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica: rápida dissipação de calor e estabilidade dimensional, evitando deformações causadas por tensões térmicas.
- Alta planicidade e acabamento superficial: A planicidade da superfície atinge o nível micrométrico, garantindo contato total entre o wafer e o disco, reduzindo a contaminação e os danos.
Estabilidade química: Forte resistência à corrosão, adequada para processos de limpeza úmida e corrosão na fabricação de semicondutores.
2. Tubo cerâmico de carbeto de silício
- Resistência a altas temperaturas: Pode funcionar em ambientes com temperaturas acima de 1600°C por longos períodos, sendo adequado para processos de fabricação de semicondutores em altas temperaturas.
Excelente resistência à corrosão: resistente a ácidos, álcalis e uma variedade de solventes químicos, adequado para ambientes de processo agressivos.
- Alta dureza e resistência ao desgaste: resiste à erosão por partículas e ao desgaste mecânico, prolongando a vida útil.
- Alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica: condução rápida de calor e estabilidade dimensional, reduzindo a deformação ou fissuras causadas por tensões térmicas.
Parâmetros do produto:
Parâmetro da bandeja de cerâmica de carbeto de silício:
| (Propriedade do material) | (Unidade) | (sic) | |
| (Teor de SiC) | (Peso)% | >99 | |
| (Tamanho médio do grão) | mícron | 4-10 | |
| (Densidade) | kg/dm3 | >3,14 | |
| (Porosidade aparente) | Vo1% | <0,5 | |
| (Dureza Vickers) | HV 0,5 | GPa | 28 |
| *() Resistência à flexão* (três pontos) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Resistência à compressão) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Módulo de elasticidade) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Tenacidade à fratura) | MPa/m'% | 3,5 | |
| (Condutividade térmica) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Resistividade) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Coeficiente de expansão térmica) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Temperatura máxima de operação) | oºC | 1700 | |
Parâmetro do tubo cerâmico de carbeto de silício:
| Unid | Índice |
| α-SIC | 99% mínimo |
| Porosidade aparente | 16% máximo |
| Densidade aparente | 2,7 g/cm³ min |
| Resistência à flexão em altas temperaturas | 100 MPa mínimo |
| Coeficiente de Expansão Térmica | K-1 4,7x10 -6 |
| Coeficiente de condutividade térmica (1400ºC) | 24 W/mk |
| Temperatura máxima de trabalho | 1650ºC |
Principais aplicações:
1. Placa cerâmica de carbeto de silício
- Corte e polimento de wafers: serve como plataforma de apoio para garantir alta precisão e estabilidade durante o corte e o polimento.
- Processo de litografia: O wafer é fixado na máquina de litografia para garantir um posicionamento de alta precisão durante a exposição.
- Polimento Químico Mecânico (CMP): atua como uma plataforma de suporte para as almofadas de polimento, proporcionando pressão uniforme e distribuição de calor.
2. Tubo cerâmico de carbeto de silício
- Tubo para forno de alta temperatura: utilizado em equipamentos de alta temperatura, como fornos de difusão e fornos de oxidação, para transportar wafers para tratamento térmico em altas temperaturas.
- Processo CVD/PVD: Utilizado como tubo de suporte na câmara de reação, resistente a altas temperaturas e gases corrosivos.
- Acessórios para equipamentos semicondutores: para trocadores de calor, tubulações de gás, etc., para melhorar a eficiência da gestão térmica dos equipamentos.
A XKH oferece uma gama completa de serviços personalizados para bandejas, ventosas e tubos de cerâmica de carbeto de silício. As bandejas e ventosas de cerâmica de carbeto de silício podem ser personalizadas de acordo com as necessidades do cliente, em termos de tamanhos, formatos e rugosidade superficial, e contam com tratamento de revestimento especial para aumentar a resistência ao desgaste e à corrosão. Para os tubos de cerâmica de carbeto de silício, a XKH oferece personalização em diversos diâmetros internos e externos, comprimentos e estruturas complexas (como tubos com formatos especiais ou porosos), além de serviços de polimento, revestimento antioxidante e outros tratamentos de superfície. A XKH garante que os clientes possam aproveitar ao máximo os benefícios de desempenho dos produtos de cerâmica de carbeto de silício para atender às exigências de setores de fabricação de ponta, como semicondutores, LEDs e células fotovoltaicas.
Diagrama detalhado
