Braço/mão de garfo de cerâmica SiC de carboneto de silício para sistemas de manuseio crítico
Diagrama Detalhado


Introdução do braço/mão de garfo de cerâmica de carboneto de silício
OGarfo/braço de cerâmica de carboneto de silícioé um componente de ponta desenvolvido para automação industrial avançada, processamento de semicondutores e ambientes ultralimpos. Sua distinta arquitetura bifurcada e superfície cerâmica ultraplana o tornam ideal para o manuseio de substratos delicados, incluindo wafers de silício, painéis de vidro e dispositivos ópticos. Projetado com precisão e fabricado em carboneto de silício ultrapuro, oGarfo/braço de cerâmica de carboneto de silíciooferece resistência mecânica incomparável, confiabilidade térmica e controle de contaminação.
Ao contrário dos braços convencionais de metal ou plástico, oGarfo/braço de cerâmica de carboneto de silícioOferece desempenho estável em condições térmicas, químicas e de vácuo extremas. Seja operando em uma sala limpa Classe 1 ou em uma câmara de plasma de alto vácuo, este componente garante o transporte seguro, eficiente e sem resíduos de peças valiosas.
Com uma estrutura adaptada para braços robóticos, manipuladores de wafers e ferramentas de transferência automatizadas, oGarfo/braço de cerâmica de carboneto de silícioé uma atualização inteligente para qualquer sistema de alta precisão.


Processo de fabricação de braço/mão de garfo de cerâmica de carboneto de silício
Criando um sistema de alto desempenhoGarfo/braço de cerâmica de carboneto de silícioenvolve um fluxo de trabalho de engenharia cerâmica rigorosamente controlado que garante repetibilidade, confiabilidade e taxas de defeitos ultrabaixas.
1. Engenharia de Materiais
Somente pó de carboneto de silício de ultra-alta pureza é usado na fabricação doGarfo/braço de cerâmica de carboneto de silício, garantindo baixa contaminação iônica e alta resistência em massa. Os pós são misturados com precisão com aditivos de sinterização e ligantes para atingir a densificação ideal.
2. Formando a Estrutura Base
A geometria da base dobraço/mão do garfoé formado por prensagem isostática a frio ou moldagem por injeção, o que garante alta densidade em bruto e distribuição uniforme de tensões. A configuração em U é otimizada para relação rigidez-peso e resposta dinâmica.
3. Processo de sinterização
O corpo verde doGarfo/braço de cerâmica de carboneto de silícioé sinterizado em um forno de gás inerte de alta temperatura, a mais de 2000 °C. Essa etapa garante uma densidade próxima à teórica, produzindo um componente resistente a rachaduras, deformações e desvios dimensionais sob cargas térmicas reais.
4. Retificação e usinagem de precisão
Ferramentas diamantadas CNC avançadas são usadas para moldar as dimensões finais doGarfo/braço de cerâmica de carboneto de silício. Tolerâncias rigorosas (±0,01 mm) e acabamento de superfície espelhado reduzem a liberação de partículas e o estresse mecânico.
5. Condicionamento e limpeza de superfícies
O acabamento final da superfície inclui polimento químico e limpeza ultrassônica para preparar obraço/mão do garfopara integração direta em sistemas ultralimpos. Revestimentos opcionais (CVD-SiC, camadas antirreflexo) também estão disponíveis.
Este processo meticuloso garante que cadaGarfo/braço de cerâmica de carboneto de silícioatende aos mais rigorosos padrões industriais, incluindo os requisitos de sala limpa SEMI e ISO.
Parâmetro do braço/mão do garfo de cerâmica de carboneto de silício
Item | Condições de teste | Dados | Unidade |
Teor de carboneto de silício | / | >99,5 | % |
Tamanho médio do grão | / | 4-10 | mícron |
Densidade | / | >3,14 | g/cm3 |
Porosidade aparente | / | <0,5 | Volume % |
Dureza Vickers | HV0,5 | 2800 | Kg/mm2 |
Módulo de Ruptura (3 Pontos) | Tamanho da barra de teste: 3 x 4 x 40 mm | 450 | MPa |
Resistência à compressão | 20°C | 3900 | MPa |
Módulo de Elasticidade | 20°C | 420 | GPa |
Resistência à fratura | / | 3,5 | MPa/m1/2 |
Condutividade térmica | 20°C | 160 | Com(mK) |
Resistividade elétrica | 20°C | 106-108 | Ωcm |
Coeficiente de Expansão Térmica | 20°C-800°C | 4.3 | K-110-6 |
Temperatura máxima de aplicação | Atmosfera de Óxido | 1600 | °C |
Temperatura máxima de aplicação | Atmosfera inerte | 1950 | °C |
Aplicações do braço/mão de garfo de cerâmica de carboneto de silício
OGarfo/braço de cerâmica de carboneto de silícioProjetado para uso em aplicações de alta precisão, alto risco e sensíveis à contaminação, ele permite manuseio, transferência ou suporte confiáveis de componentes críticos sem comprometer nada.
➤ Indústria de Semicondutores
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Usado como um garfo robótico em estações de transferência de wafer front-end e FOUP.
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Integrado em câmaras de vácuo para processos de gravação de plasma e PVD/CVD.
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Funciona como braço de suporte em ferramentas de metrologia e alinhamento de wafers.
OGarfo/braço de cerâmica de carboneto de silícioelimina riscos de descarga eletrostática (ESD), oferece precisão dimensional e resiste à corrosão do plasma.
➤ Fotônica e Óptica
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Suporta lentes delicadas, cristais de laser e sensores durante a fabricação ou inspeção.
Sua alta rigidez evita vibrações, enquanto o corpo de cerâmica resiste à contaminação das superfícies ópticas.
➤ Produção de Displays e Painéis
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Manuseia vidro fino, módulos OLED e substratos LCD durante transporte ou inspeção.
O plano e quimicamente inerteGarfo/braço de cerâmica de carboneto de silícioprotege contra arranhões ou corrosão química.
➤ Instrumentos Aeroespaciais e Científicos
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Utilizado em montagens ópticas de satélite, robótica a vácuo e configurações de linhas de luz síncrotron.
Apresenta desempenho impecável em salas limpas de nível espacial e ambientes propensos à radiação.
Em cada campo, oGarfo/braço de cerâmica de carboneto de silícioaumenta a eficiência do sistema, reduz falhas de peças e minimiza o tempo de inatividade.

FAQ – Perguntas frequentes sobre braço/mão de garfo de cerâmica de carboneto de silício
P1: O que torna o braço/mão de garfo de cerâmica de carboneto de silício melhor do que as alternativas de metal?
OGarfo/braço de cerâmica de carboneto de silícioPossui dureza superior, menor densidade, melhor resistência química e expansão térmica significativamente menor do que os metais. Também é compatível com salas limpas e livre de corrosão ou geração de partículas.
P2: Posso solicitar dimensões personalizadas para meu braço/mão de garfo de cerâmica de carboneto de silício?
Sim. Oferecemos personalização completa, incluindo largura do garfo, espessura, furos de montagem, recortes e tratamentos de superfície. Seja para wafers de 6", 8" ou 12", seubraço/mão do garfopode ser adaptado para se ajustar.
Q3: Quanto tempo dura o braço/mão de cerâmica de carboneto de silício sob plasma ou vácuo?
Graças ao material SiC de alta densidade e à natureza inerte, obraço/mão do garfoPermanece funcional mesmo após milhares de ciclos de processo. Apresenta desgaste mínimo sob cargas térmicas agressivas de plasma ou vácuo.
Q4: O produto é adequado para salas limpas ISO Classe 1?
Com certeza. OGarfo/braço de cerâmica de carboneto de silícioé fabricado e embalado em instalações de salas limpas certificadas, com níveis de partículas bem abaixo dos requisitos da Classe 1 da ISO.
P5: Qual é a temperatura máxima de operação para este braço/mão de garfo?
OGarfo/braço de cerâmica de carboneto de silíciopode operar continuamente em até 1500°C, tornando-o adequado para uso direto em câmaras de processo de alta temperatura e sistemas de vácuo térmico.
Estas perguntas frequentes refletem as preocupações técnicas mais comuns de engenheiros, gerentes de laboratório e integradores de sistemas que usam oGarfo/braço de cerâmica de carboneto de silício.
Sobre nós
A XKH é especializada no desenvolvimento, produção e vendas de alta tecnologia de vidros ópticos especiais e novos materiais de cristal. Nossos produtos atendem aos setores de eletrônica óptica, eletrônica de consumo e militar. Oferecemos componentes ópticos de safira, capas para lentes de celulares, cerâmicas, LT, SIC de carboneto de silício, quartzo e wafers de cristal semicondutor. Com expertise especializada e equipamentos de última geração, nos destacamos no processamento de produtos não padronizados, visando ser uma empresa líder em alta tecnologia em materiais optoeletrônicos.
