Bolacha de silicone térmica de óxido de filme fino SiO2 4 polegadas 6 polegadas 8 polegadas 12 polegadas
Introdução da caixa de wafer
O principal processo de fabricação de wafers de silício oxidado geralmente inclui as seguintes etapas: crescimento de silício monocristalino, corte em wafers, polimento, limpeza e oxidação.
Crescimento de silício monocristalino: Primeiro, o silício monocristalino é cultivado em altas temperaturas por métodos como o método Czochralski ou o método de zona flutuante. Este método permite a preparação de monocristais de silício com alta pureza e integridade de rede.
Corte em cubos: O silício monocristalino cultivado geralmente tem um formato cilíndrico e precisa ser cortado em wafers finos para ser usado como substrato de wafer. O corte geralmente é feito com um cortador de diamante.
Polimento: A superfície do wafer cortado pode ser irregular e requer polimento químico-mecânico para obter uma superfície lisa.
Limpeza: O wafer polido é limpo para remover impurezas e poeira.
Oxidante: Por fim, as pastilhas de silício são colocadas em um forno de alta temperatura para tratamento oxidante para formar uma camada protetora de dióxido de silício para melhorar suas propriedades elétricas e resistência mecânica, além de servir como camada isolante em circuitos integrados.
Os principais usos das pastilhas de silício oxidado incluem a fabricação de circuitos integrados, a fabricação de células solares e a fabricação de outros dispositivos eletrônicos. Os wafers de óxido de silício são amplamente utilizados na área de materiais semicondutores devido às suas excelentes propriedades mecânicas, estabilidade dimensional e química, capacidade de operar em altas temperaturas e altas pressões, bem como boas propriedades isolantes e ópticas.
Suas vantagens incluem uma estrutura cristalina completa, composição química pura, dimensões precisas, boas propriedades mecânicas, etc. Essas características tornam os wafers de óxido de silício particularmente adequados para a fabricação de circuitos integrados de alto desempenho e outros dispositivos microeletrônicos.