Substratos de vidro TGV perfuração de vidro wafer de 12 polegadas

Breve descrição:

Os substratos de vidro têm uma superfície mais lisa que os substratos de plástico e o número de vias é muito maior na mesma área do que nos materiais orgânicos. Diz-se que o espaçamento entre os orifícios nos núcleos de vidro pode ser inferior a 100 mícrons, o que aumenta diretamente a densidade de interconexão entre os wafers por um fator de 10. O aumento da densidade de interconexão pode acomodar um número maior de transistores, permitindo operações mais complexas. projetos e uso mais eficiente do espaço.


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Os substratos de vidro apresentam melhor desempenho em termos de propriedades térmicas, estabilidade física e são mais resistentes ao calor e menos propensos a problemas de empenamento ou deformação devido a altas temperaturas;

Além disso, as propriedades elétricas exclusivas do núcleo de vidro permitem menores perdas dielétricas, permitindo transmissão de sinal e energia mais clara. Como resultado, a perda de energia durante a transmissão do sinal é reduzida e a eficiência geral do chip é naturalmente aumentada. A espessura do substrato do núcleo de vidro pode ser reduzida em cerca de metade em comparação com o plástico ABF, e o afinamento melhora a velocidade de transmissão do sinal e a eficiência energética.

Tecnologia de formação de furos do TGV:

O método de gravação induzida por laser é usado para induzir a zona de desnaturação contínua através de laser pulsado e, em seguida, o vidro tratado a laser é colocado em solução de ácido fluorídrico para gravação. A taxa de gravação do vidro da zona de desnaturação em ácido fluorídrico é mais rápida do que a do vidro não desnaturado para formar furos passantes.

Preenchimento de TGV:

Primeiro, são feitos furos cegos no TGV. Em segundo lugar, a camada de sementes foi depositada dentro do furo cego do TGV por deposição física de vapor (PVD). Em terceiro lugar, a galvanoplastia de baixo para cima consegue o enchimento perfeito do TGV; Finalmente, através de colagem temporária, retificação posterior, polimento químico-mecânico (CMP), exposição de cobre, descolamento, formando uma placa de transferência preenchida com metal TGV.

Diagrama Detalhado

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