Substratos de vidro TGV 12 polegadas wafer Perfuração de vidro

Descrição curta:

Os substratos de vidro têm uma superfície mais lisa do que os substratos de plástico, e o número de vias é muito maior na mesma área do que em materiais orgânicos. Diz-se que o espaçamento entre furos passantes em núcleos de vidro pode ser inferior a 100 mícrons, o que aumenta diretamente a densidade de interconexão entre os wafers em um fator de 10. A maior densidade de interconexão pode acomodar um número maior de transistores, permitindo projetos mais complexos e um uso mais eficiente do espaço.


Características

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Os substratos de vidro apresentam melhor desempenho em termos de propriedades térmicas, estabilidade física, são mais resistentes ao calor e menos propensos a problemas de deformação ou empenamento devido a altas temperaturas;

Além disso, as propriedades elétricas exclusivas do núcleo de vidro permitem menores perdas dielétricas, permitindo uma transmissão de sinal e potência mais nítida. Como resultado, a perda de potência durante a transmissão do sinal é reduzida e a eficiência geral do chip é naturalmente aumentada. A espessura do substrato do núcleo de vidro pode ser reduzida em cerca de metade em comparação com o plástico ABF, e o afinamento melhora a velocidade de transmissão do sinal e a eficiência energética.

Tecnologia de formação de furos da TGV:

O método de corrosão induzida por laser é usado para induzir uma zona de desnaturação contínua por meio de laser pulsado, e então o vidro tratado a laser é mergulhado em uma solução de ácido fluorídrico para corrosão. A taxa de corrosão do vidro da zona de desnaturação em ácido fluorídrico é mais rápida do que a do vidro não desnaturado para formar furos passantes.

Abastecimento de TGV:

Primeiramente, são feitos os furos cegos do TGV. Em seguida, a camada de sementes é depositada dentro do furo cego do TGV por deposição física de vapor (PVD). Em terceiro lugar, a galvanoplastia de baixo para cima atinge o preenchimento uniforme do TGV. Por fim, por meio de colagem temporária, retificação reversa, polimento químico-mecânico (CMP), a exposição do cobre e a descolagem formam uma placa de transferência preenchida com metal do TGV.

Diagrama Detalhado

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