Processo TVG em wafer de quartzo-safira BF33. Perfuração de wafer de vidro.

Descrição resumida:

O processo TGV (Through Glass Via) utiliza indução a laser e corrosão úmida para obter uma pequena abertura (mínimo de 10 μm) através do substrato de vidro, resultando em um tratamento de furo cego.


Características

As vantagens do TGV (Through Glass Via) refletem-se principalmente em:

1) Excelentes características elétricas em alta frequência. O vidro é um material isolante, sua constante dielétrica é apenas cerca de 1/3 da do silício, e seu fator de perda é de 2 a 3 ordens de magnitude menor, reduzindo significativamente as perdas no substrato e os efeitos parasitas, garantindo a integridade do sinal transmitido;

(2) Substratos de vidro de grandes dimensões e ultrafinos são fáceis de obter. Podemos oferecer Sapphire, Quartz, Corning e SCHOTT, e outros fabricantes de vidro podem fornecer painéis de vidro de dimensões ultragrandes (>2m × 2m) e ultrafinos (<50µm), bem como materiais de vidro flexíveis ultrafinos.

3) Baixo custo. Graças ao fácil acesso a painéis de vidro ultrafinos de grandes dimensões, e sem a necessidade de deposição de camadas isolantes, o custo de produção da placa adaptadora de vidro é apenas cerca de 1/8 do custo da placa adaptadora à base de silício;

4) Processo simples. Não há necessidade de depositar uma camada isolante na superfície do substrato e na parede interna do TGV (Through Glass Via), e nenhum afinamento é necessário na placa adaptadora ultrafina;

(5) Forte estabilidade mecânica. Mesmo quando a espessura da placa adaptadora é inferior a 100µm, a deformação ainda é pequena;

6) Ampla gama de aplicações. Além das boas perspectivas de aplicação na área de alta frequência, como material transparente, também pode ser utilizado na integração de sistemas optoeletrônicos. As vantagens de hermeticidade e resistência à corrosão conferem ao substrato de vidro um grande potencial para encapsulamento de MEMS.

Atualmente, nossa empresa oferece a tecnologia TGV (Through Glass Via) para fabricação de furos passantes em vidro, podendo processar os materiais recebidos e fornecer o produto diretamente. Disponibilizamos vidros de safira, quartzo, Corning, Schott, BF33 e outros. Caso tenha alguma necessidade, entre em contato conosco a qualquer momento! Aguardamos seu contato!

Diagrama detalhado

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