Wafer de substrato de safira de 4 polegadas com Al2O3 de alta pureza (99,999%) e diâmetro de 101,6 × 0,65 mm e comprimento plano primário.
Descrição
As especificações comuns de wafers de safira de 4 polegadas são apresentadas a seguir:
Espessura: A espessura das lâminas de safira comuns varia entre 0,2 mm e 2 mm, podendo ser personalizada de acordo com as necessidades do cliente.
Borda de posicionamento: Geralmente existe uma pequena seção na borda do wafer chamada "borda de posicionamento" que protege a superfície e a borda do wafer, e geralmente é amorfa.
Preparação da superfície: As lâminas de safira comuns são retificadas mecanicamente e polidas quimicamente para suavizar a superfície.
Propriedades da superfície: A superfície das lâminas de safira geralmente apresenta boas propriedades ópticas, como baixa refletividade e baixo índice de refração, para melhorar o desempenho do dispositivo.
Aplicações
● Substrato de crescimento para compostos III-V e II-VI
● Eletrônica e optoeletrônica
● Aplicações de IR
● Circuito Integrado de Silício sobre Safira (SOS)
● Circuito Integrado de Radiofrequência (RFIC)
Especificação
| Item | Wafer de safira de 4 polegadas, plano C (0001), 650 μm | |
| Materiais cristalinos | Al2O3 monocristalino de alta pureza (99,999%). | |
| Nota | Prime, pronto para Epi | |
| Orientação da superfície | Plano C(0001) | |
| Ângulo de inclinação do plano C em relação ao eixo M: 0,2 +/- 0,1° | ||
| Diâmetro | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Grossura | 650 μm +/- 25 μm | |
| Orientação plana primária | Plano A(11-20) +/- 0,2° | |
| Comprimento plano primário | 30,0 mm +/- 1,0 mm | |
| Polido em um lado | Superfície frontal | Polido epitaxialmente, Ra < 0,2 nm (por AFM) |
| (SSP) | Superfície posterior | Moagem fina, Ra = 0,8 μm a 1,2 μm |
| Polido em ambos os lados | Superfície frontal | Polido epitaxialmente, Ra < 0,2 nm (por AFM) |
| (DSP) | Superfície posterior | Polido epitaxialmente, Ra < 0,2 nm (por AFM) |
| TTV | < 20 μm | |
| ARCO | < 20 μm | |
| URDIDURA | < 20 μm | |
| Limpeza/Embalagem | Limpeza de salas limpas classe 100 e embalagem a vácuo. | |
| 25 unidades em uma embalagem tipo cassete ou embalagem individual. | ||
Temos muitos anos de experiência na indústria de processamento de safira, tanto no mercado de fornecedores chineses quanto no mercado internacional. Se tiver alguma necessidade, não hesite em nos contatar.
Diagrama detalhado
