Wafer de substrato de safira Al2O3 de alta pureza de 4 polegadas 99,999% Dia101,6 × 0,65 mmt com comprimento plano primário
Descrição
Especificações comuns de wafers de safira de 4 polegadas são apresentadas a seguir:
Espessura: A espessura das pastilhas de safira comuns fica entre 0,2 mm e 2 mm, e a espessura específica pode ser personalizada de acordo com as necessidades do cliente.
Borda de posicionamento: geralmente há uma pequena seção na borda do wafer chamada de "borda de posicionamento", que protege a superfície e a borda do wafer, e geralmente é amorfa.
Preparação da superfície: As pastilhas de safira comuns são moídas mecanicamente e polidas quimicamente para alisar a superfície.
Propriedades da superfície: A superfície dos wafers de safira geralmente tem boas propriedades ópticas, como baixa refletividade e baixo índice de refração, para melhorar o desempenho do dispositivo.
Aplicações
● Substrato de crescimento para compostos III-V e II-VI
● Eletrônica e optoeletrônica
● Aplicações de RI
● Circuito Integrado de Silício sobre Safira (SOS)
● Circuito Integrado de Radiofrequência (RFIC)
Especificação
| Item | Wafers de safira de 4 polegadas C-plane (0001) 650μm | |
| Materiais de Cristal | 99,999%, alta pureza, Al2O3 monocristalino | |
| Nota | Prime, pronto para Epi | |
| Orientação da superfície | Plano C (0001) | |
| Plano C fora do ângulo em direção ao eixo M 0,2 +/- 0,1° | ||
| Diâmetro | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Grossura | 650 μm +/- 25 μm | |
| Orientação plana primária | Plano A (11-20) +/- 0,2° | |
| Comprimento plano primário | 30,0 mm +/- 1,0 mm | |
| Polido de um lado | Superfície Frontal | Epi-polido, Ra < 0,2 nm (por AFM) |
| (SSP) | Superfície posterior | Moagem fina, Ra = 0,8 μm a 1,2 μm |
| Polido com dupla face | Superfície Frontal | Epi-polido, Ra < 0,2 nm (por AFM) |
| (DSP) | Superfície posterior | Epi-polido, Ra < 0,2 nm (por AFM) |
| TTV | < 20 μm | |
| ARCO | < 20 μm | |
| URDIDURA | < 20 μm | |
| Limpeza / Embalagem | Limpeza de salas limpas classe 100 e embalagem a vácuo, | |
| 25 peças em uma embalagem cassete ou embalagem de peça única. | ||
Temos muitos anos de experiência na indústria de processamento de safiras, abrangendo o mercado fornecedor chinês e o mercado de demanda internacional. Se tiver alguma necessidade, entre em contato conosco.
Diagrama Detalhado
