Substrato de recuperação simulado de 8 polegadas tipo P/N (100) 1-100Ω
Introdução da caixa de wafer
O wafer de silício de 8 polegadas é um material de substrato de silício comumente usado e amplamente utilizado no processo de fabricação de circuitos integrados. Tais wafers de silício são comumente usados para fazer vários tipos de circuitos integrados, incluindo microprocessadores, chips de memória, sensores e outros dispositivos eletrônicos. Os wafers de silício de 8 polegadas são comumente usados para fabricar chips de tamanhos relativamente grandes, com vantagens que incluem uma área de superfície maior e a capacidade de produzir mais chips em um único wafer de silício, levando ao aumento da eficiência da produção. O wafer de silício de 8 polegadas também possui boas propriedades mecânicas e químicas, o que é adequado para a produção de circuitos integrados em larga escala.
Recursos do produto
8" tipo P/N, wafer de silício polido (25 unidades)
Orientação: 200
Resistividade: 0,1 - 40 ohm•cm (pode variar de lote para lote)
Espessura: 725+/-20um
Nota principal/monitor/teste
PROPRIEDADES MATERIAIS
Parâmetro | Característica |
Tipo/Dopante | P, Boro N, Fósforo N, Antimônio N, Arsênico |
Orientações | <100>, <111> separe as orientações de acordo com as especificações do cliente |
Conteúdo de oxigênio | 1019ppmA Tolerâncias personalizadas de acordo com a especificação do cliente |
Conteúdo de carbono | < 0,6 ppmA |
PROPRIEDADES MECÂNICAS
Parâmetro | Melhor | Monitorar/Teste A | Teste |
Diâmetro | 200±0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200±0,5mm |
Grossura | 725±20µm (padrão) | 725±25µm(padrão) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (padrão) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Arco | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Enrolar | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Arredondamento de bordas | SEMI-STD | ||
Marcação | Primário SEMI-Flat apenas, SEMI-STD Flats Jeida Flat, Notch |
Parâmetro | Melhor | Monitorar/Teste A | Teste |
Critérios frontais | |||
Condição da superfície | Químico Mecânico Polido | Químico Mecânico Polido | Químico Mecânico Polido |
Rugosidade Superficial | < 2°C | < 2°C | < 2°C |
Contaminação Partículas @ >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Neblina, Poços Casca de laranja | Nenhum | Nenhum | Nenhum |
Serra, marcas Estrias | Nenhum | Nenhum | Nenhum |
Critérios do verso | |||
Rachaduras, pés de galinha, marcas de serra, manchas | Nenhum | Nenhum | Nenhum |
Condição da superfície | Gravado cáustico |