Filme monocristalino de niobato de lítio (LNOI) de 4 e 6 polegadas

Descrição resumida:

O niobato de lítio possui excelentes propriedades eletro-ópticas, não lineares e piezoelétricas. Com o auxílio de tecnologias avançadas de micro e nanoprocessamento, dispositivos fotônicos integrados baseados em filmes finos de niobato de lítio (LNOI) sobre isolantes têm sido amplamente desenvolvidos. No futuro, materiais LNOI de alto desempenho impulsionarão o desenvolvimento de óptica micro-nano baseada em LNOI, fotônica integrada e fotônica de micro-ondas. A produção de materiais LNOI de alto desempenho será um passo importante para a aplicação industrial de dispositivos optoeletrônicos de niobato de lítio.

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Características

O processo de preparação dos materiais LNOI é dividido principalmente nas seguintes quatro etapas.

(1) Íons de He foram injetados no material de niobato de lítio cortado em X em uma determinada energia e introduzidos na camada de defeito em uma determinada profundidade abaixo da camada superficial do niobato de lítio;

(2) O material de niobato de lítio implantado com íons é ligado a um substrato de silício com uma camada de óxido para formar uma estrutura de ligação;

(3) A estrutura de ligação foi recozida para que os defeitos introduzidos pela implantação de íons He evoluíssem e se agregassem para formar rachaduras. Finalmente, o niobato de lítio foi separado ao longo da camada de defeito para formar as fatias residuais de niobato de lítio e os wafers de LNOI.

Aplicações e vantagens do wafer LNOI

1 - Os filmes piezoelétricos de niobato de lítio (LNOI) possuem alto coeficiente piezoelétrico e constante dielétrica, podendo converter energia mecânica em energia elétrica ou vice-versa. Portanto, são amplamente utilizados na área de sensores, como sensores de pressão, acelerômetros, sensores de temperatura, entre outros. Além disso, o filme piezoelétrico de niobato de lítio também pode ser utilizado em dispositivos acústicos e de vibração, como transdutores cerâmicos piezoelétricos e filtros cerâmicos piezoelétricos complexos.

2- A estabilidade do filme piezoelétrico de niobato de lítio também é uma de suas vantagens. Devido à estabilidade de sua estrutura cristalina e inércia química, o filme piezoelétrico de niobato de lítio pode operar em ambientes agressivos, como alta temperatura, alta umidade, ácidos fortes, álcalis fortes e outros, apresentando boa resistência à corrosão e durabilidade.

3- O filme piezoelétrico de niobato de lítio é um novo material piezoelétrico com excelente desempenho e estabilidade, e possui um amplo potencial de aplicação. Com o contínuo desenvolvimento da ciência e da tecnologia, o filme piezoelétrico de niobato de lítio será aplicado em mais cidades, trazendo mais conveniência e inovação para a vida das pessoas.