Wafer de LNOI de filme de cristal único de niobato de lítio de 4 e 6 polegadas
O processo de preparação de materiais LNOI é dividido principalmente nas quatro etapas a seguir
(1) Os íons He foram injetados no material de niobato de lítio cortado em X com uma determinada energia e introduzidos na camada de defeito a uma determinada profundidade abaixo da camada superficial de niobato de lítio;
(2) O material de niobato de lítio implantado com íons é ligado a um substrato de silício com uma camada de óxido para formar uma estrutura de ligação;
(3) A estrutura de ligação foi recozida para fazer com que os defeitos introduzidos pela implantação de íons He evoluíssem e se agregassem, formando fissuras. Por fim, o niobato de lítio foi separado ao longo da camada defeituosa para formar as fatias residuais de niobato de lítio e as lâminas de LNOI.
Aplicações e vantagens do wafer LNOI
1--Os filmes piezoelétricos de niobato de lítio (LNOI) possuem alto coeficiente piezoelétrico e constante dielétrica, podendo converter energia mecânica em energia elétrica ou energia elétrica em energia mecânica. Portanto, são amplamente utilizados na área de sensores, como sensores de pressão, sensores de aceleração, sensores de temperatura, entre outros. Além disso, o filme piezoelétrico de niobato de lítio também pode ser utilizado em dispositivos acústicos e dispositivos de vibração, como transdutores cerâmicos piezoelétricos e filtros cerâmicos piezoelétricos complexos.
2- A estabilidade do filme piezoelétrico de niobato de lítio também é uma de suas vantagens. Devido à estabilidade da sua estrutura cristalina e à inércia química, o filme piezoelétrico de niobato de lítio pode operar em altas temperaturas, alta umidade, ácidos fortes, álcalis fortes e outros ambientes agressivos, apresentando boa resistência à corrosão e durabilidade.
3- O filme piezoelétrico de niobato de lítio é um novo material piezoelétrico com excelente desempenho e estabilidade, com amplas perspectivas de aplicação. Com o desenvolvimento contínuo da ciência e da tecnologia, o filme piezoelétrico de niobato de lítio será aplicado em mais cidades, trazendo mais conveniência e inovação à vida das pessoas.
Diagrama Detalhado
