Wafer LNOI de filme de cristal único de niobato de lítio de 4 polegadas e 6 polegadas
O processo de preparação de materiais LNOI é dividido principalmente nas quatro etapas a seguir
(1) Os íons He foram injetados no material de niobato de lítio cortado em X a uma certa energia e introduzidos na camada defeituosa a uma certa profundidade abaixo da camada superficial do niobato de lítio;
(2) O material de niobato de lítio implantado com íons é ligado a um substrato de silício com uma camada de óxido para formar uma estrutura de ligação;
(3) A estrutura de ligação foi recozida para fazer com que os defeitos introduzidos pela implantação do íon He evoluíssem e se agregassem para formar rachaduras.Finalmente, o niobato de lítio foi separado ao longo da camada defeituosa para formar as fatias residuais de niobato de lítio e os wafers LNOI.
Aplicações e vantagens do wafer LNOI
1 - Os filmes piezoelétricos de niobato de lítio (LNOI) possuem alto coeficiente piezoelétrico e constante dielétrica, que podem converter energia mecânica em energia elétrica ou energia elétrica em energia mecânica.Portanto, é amplamente utilizado na área de sensores, como sensores de pressão, sensores de aceleração, sensores de temperatura e assim por diante.Além disso, o filme piezoelétrico de niobato de lítio também pode ser usado em dispositivos acústicos e dispositivos de vibração, como filtro cerâmico piezoelétrico complexo transdutor cerâmico piezoelétrico.
2-A estabilidade do filme piezoelétrico de niobato de lítio também é uma de suas vantagens.Devido à estabilidade da estrutura cristalina e à inércia química, o filme piezoelétrico de niobato de lítio pode funcionar em alta temperatura, alta umidade, ácido forte, álcali forte e outros ambientes agressivos, com boa resistência à corrosão e durabilidade.
O filme piezoelétrico de niobato de 3-lítio é um novo material piezoelétrico com excelente desempenho e estabilidade e tem uma ampla perspectiva de aplicação.Com o desenvolvimento contínuo da ciência e da tecnologia, o filme piezoelétrico de niobato de lítio será aplicado em mais cidades, trazendo mais comodidade e inovação à vida das pessoas.
Diagrama Detalhado
Categorias de produtos
-
GaN de 50,8 mm e 2 polegadas em wafer de camada Epi de safira
-
Wafer SOI de substrato de silício sobre isolador três ...
-
100mm 4 polegadas GaN em safira Epi-camada wafer Gal...
-
200mm 8 polegadas GaN em safira Epi-layer wafer sub...
-
150mm 200mm 6 polegadas 8 polegadas GaN em silicone Epi-lay...
-
Modelo AlN de 50,8 mm / 100 mm no modelo NPSS / FSS AlN ...